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纯废水专业技术培训

主讲人：

以客为尊·服务领先

目录

一、纯水

1、纯水制备的常用技术

2、纯水制备的常用设备

3、纯水制备的典型工艺

4、纯水系统的材质选用

5、纯水系统的运维

二、废水

1、废水的种类

2、废水处理的主要方法

3、废水处理典型工艺

4、废水处理的材质选用

三、水处理项目施工注意问题

超纯水的定义

超纯水：理论纯水电阻率18.2MΩ/cm，at25℃被认为是超纯水的最佳理论水质指标。

随着微电子产业的发展,仅用这一项指标来衡量超纯水是远远不够的。工业超纯水不仅要

考虑水中电解质的浓度，更要考虑水中颗粒（Particle）、TOC（总有机碳）、DO（溶

解氧）、细菌微生物（Microbe）、SIO2（硅）及其它PPT级的金属离子，这些因素成

为影响微电子产业及其他产业产品质量及产品良率的主要因素。

超纯水水质标准：

1、国标：电子级水GB/T11446.1-2013

2、美国材料协会ASTM-D5127-2013标准

纯水制备水质标准

纯水制备水质标准

纯水制备水质标准

纯水制备常用技术

原水

混凝澄清过滤活性炭杀菌

预处理

膜过滤软化脱气

脱盐

反渗透（RO）离子交换EDI

后处理UV-254UV-185膜脱气微滤

回收系统超滤抛光混床

POU

纯水制备主要设备

纯水制备主要设备

纯水制备主要设备

脱气塔

CO濃度：20～22ppm

2

水空气

鼓风机

填充物(Tellerette)

通过增加水和空气的接触面积，有效水泵

的把水中的二氧化碳释放到空气中去。CO濃度：6～8ppm

2

纯水制备主要设备

纯水制备主要设备

紫外线杀菌器

纯水制备主要设备

纯水制备主要设备

纯水制备主要设备

监控仪表

纯水制备主要工艺

新能源、新材料、锂电行业纯水制备工艺流程

RawwatertankMMFHEXACFRO1

原水箱