MFC热式气体质量流量控制器、MFM气体质量流量计 FDC-300使用说明书.pdf

FDC-300系列使用说明书

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目录

一、产品简介4

二、产品原理4

三、产品特性5

四、规格参数5

五、电气连接8

六、安装使用9

七、功能操作10

八、故障排查11

九、产品保证与服务12

十、免责声明12

附件1通讯协议13

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【使用须知】

请务必认真参阅本手册并理解后使用。

对于未按照使用手册使用造成的损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。

为后续安装、维护及故障维修时使用，请妥善保管此手册。

在使用过程中，请仔细阅读带有【警告】和【注意】标志事项中的所有内容。

【警告】

本产品适用于易燃易爆气体，但不适用于在易燃易爆环境中使用。

危险气体使用：本产品应用于用危险气体时，做好防范措施。

确认使用气体不会和密封材料产生化学反应。

气体管路泄漏检查：本产品安过程中，请检查所有气路接口确保无气体泄漏。

使用压力请勿超过本产品的最大工作压力（最大工作压力参考手册）。

严禁打开产品外壳、更换零部件或改动产品。

本产品工作环境温度为0~50℃。

本产品不适用于液体介质。

【注意】

本产品开机即可使用，为了保证精度，开机后需预热15~30min后使用产品。

产品使用压力和压差确保与产品参数一致。

气流方向与箭头标识一致。

使用信号类型确保与产品信号类型一致。

使用气体与标定气体不同：确认所用气体与本产品密封材质不会发生反应且

需要通过手册附录的转换系数与公式进行转换。

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一、产品简介

气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行

精密控制和测量。气体质量流量的测量和控制不受温度或压力影响。

气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）半导体和集成电路工艺、特

种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中

有着重要应用。其典型的应用场合包括：镀膜设备、微电子工艺设备，如扩散炉、

氧化炉、外延炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机等；光纤熔炼、微反

应装置、混气配气系统、生物发酵系统、石油化工设备、气相色谱仪及其它分析仪

器。

二、产品原理

图1、传感器原理图图2、MFC结构示意图

热式质量流量计（MFM）的核心传感器是毛细管热温差原理，是由带有热敏元

件和加热元件的不锈钢毛细管组成。一部分气体流经旁路传感器，并由加热元件加

热，气体流动造成温度分布不对称，从而可以测得两个热敏元件之间的温差，此温

差与通过传感器的质量流量成正比。主流量通道经过层流原件的完美分流，使传感

器的输出与总质量流量成线性关系。

热式质量流量控制器（MFC）是将传感器的输出信号经过放大和用户设定信号对

比，通过PID算法控制电磁阀的开度，调节流量，实现质量流量的闭环控制。

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三、产品特性

FDC-300系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度高，且不受温度和压力影

响、可任意角度安装使用。

FDC-300系列的传感器和阀体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，最大

工作压力可达1500Psi。

FDC-300系列的数字型测量控制电路，抗干扰能力更强，多种通讯信号可选，

数字通讯且兼容模拟信号0～5V/4～20mA。

FDC-300系列配备比例电磁控制阀，该阀具有非常快速和平稳控制的特性。选

配的高压差电磁阀可适应2～50Bar的极高压差。

FDC-300系列已通过CE和Rohs认证。

四、规格参数

4.1、流量范围和最大工作压力

型号最大满量程（N2标准）最小满量程（N2标准）最大工作压力

FDC-32x30slm10sccm1500Psi/100Bar

FDC-