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FDC-300系列使用说明书
1
目录
一、产品简介4
二、产品原理4
三、产品特性5
四、规格参数5
五、电气连接8
六、安装使用9
七、功能操作10
八、故障排查11
九、产品保证与服务12
十、免责声明12
附件1通讯协议13
2
【使用须知】
请务必认真参阅本手册并理解后使用。
对于未按照使用手册使用造成的损失或人身伤害,本公司有权不承担责任。
为后续安装、维护及故障维修时使用,请妥善保管此手册。
在使用过程中,请仔细阅读带有【警告】和【注意】标志事项中的所有内容。
【警告】
本产品适用于易燃易爆气体,但不适用于在易燃易爆环境中使用。
危险气体使用:本产品应用于用危险气体时,做好防范措施。
确认使用气体不会和密封材料产生化学反应。
气体管路泄漏检查:本产品安过程中,请检查所有气路接口确保无气体泄漏。
使用压力请勿超过本产品的最大工作压力(最大工作压力参考手册)。
严禁打开产品外壳、更换零部件或改动产品。
本产品工作环境温度为0~50℃。
本产品不适用于液体介质。
【注意】
本产品开机即可使用,为了保证精度,开机后需预热15~30min后使用产品。
产品使用压力和压差确保与产品参数一致。
气流方向与箭头标识一致。
使用信号类型确保与产品信号类型一致。
使用气体与标定气体不同:确认所用气体与本产品密封材质不会发生反应且
需要通过手册附录的转换系数与公式进行转换。
3
一、产品简介
气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行
精密控制和测量。气体质量流量的测量和控制不受温度或压力影响。
气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)半导体和集成电路工艺、特
种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中
有着重要应用。其典型的应用场合包括:镀膜设备、微电子工艺设备,如扩散炉、
氧化炉、外延炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机等;光纤熔炼、微反
应装置、混气配气系统、生物发酵系统、石油化工设备、气相色谱仪及其它分析仪
器。
二、产品原理
图1、传感器原理图图2、MFC结构示意图
热式质量流量计(MFM)的核心传感器是毛细管热温差原理,是由带有热敏元
件和加热元件的不锈钢毛细管组成。一部分气体流经旁路传感器,并由加热元件加
热,气体流动造成温度分布不对称,从而可以测得两个热敏元件之间的温差,此温
差与通过传感器的质量流量成正比。主流量通道经过层流原件的完美分流,使传感
器的输出与总质量流量成线性关系。
热式质量流量控制器(MFC)是将传感器的输出信号经过放大和用户设定信号对
比,通过PID算法控制电磁阀的开度,调节流量,实现质量流量的闭环控制。
4
三、产品特性
FDC-300系列采用毛细管热温差式传感器,测量精度高,且不受温度和压力影
响、可任意角度安装使用。
FDC-300系列的传感器和阀体采用316L不锈钢,适应有毒和腐蚀性气体,最大
工作压力可达1500Psi。
FDC-300系列的数字型测量控制电路,抗干扰能力更强,多种通讯信号可选,
数字通讯且兼容模拟信号0~5V/4~20mA。
FDC-300系列配备比例电磁控制阀,该阀具有非常快速和平稳控制的特性。选
配的高压差电磁阀可适应2~50Bar的极高压差。
FDC-300系列已通过CE和Rohs认证。
四、规格参数
4.1、流量范围和最大工作压力
型号最大满量程(N2标准)最小满量程(N2标准)最大工作压力
FDC-32x30slm10sccm1500Psi/100Bar
FDC-
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