中期报告彭强.docVIP

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机械工程学院2021级

全日制专业学位硕士中期进展报告

学号：

姓名：

导师：

论文题目：

学科专业：

学院：

填写时间：

年月日

西安交通大学研究生院制

硕士研究生中期进展报告填写说明及管理规定

一、硕士学位论文中期考核要求在校硕士生必须在入学第四学期末（两年毕业试点学院的硕士生应在第三学期末）完成。

二、硕士研究生在完成了一定论文工作的基础上，填写完成《硕士研究生中期进展报告》。

三、《硕士研究生中期进展报告》完成以后，应组织公开的中期考核报告会。

四、中期考核由学院负责统一组织，考核专家组一般由5名副高以上（含副高）人员组成。考核专家主要依据硕士研究生的论文课题进展情况进行考核，同时可参阅其课程学习和选题报告情况。中期考核结束后，考核专家应在本表中填写考核评价结果、评语和论文修改意见。

五、《硕士研究生中期进展报告》必须采用A4纸双面打印，左侧装订成册，各栏空格不够时，请自行加页。本表可在研究生院主页/下载。

六、《硕士研究生中期进展报告》由学院归档。

论文题目

基于电火花加工和化学镀金刚石微细砂轮的微结构光学功能元件磨削技术

课题来源：【请在“（）”内打“√”】

国家级（）；省部级（）；横向（）；自选（）

一、研究内容及方案（20分）（围绕论文选题，是否具备了基本的工程技能、是否开展了关键技术研究、技术线路是否可行）

1.1研究背景和意义

1.1.1微结构光学功能元件及其应用

微结构光学功能元件是表面有微结构的光学元件，微结构表面具有高深宽比的微小拓扑几何形状，并可由此优化元件的光学、机械、物理和化学性质以表现出特定功能的结构性表面，特征尺寸一般在微米级。微结构表面在应用上具有以下优势：紧凑型设计使得元件的轻量化和小型化成为可能、适应于机械设计约束、可以实现新型的光学设计概念、集成光学和机械功能。

近年来微结构光学功能元件在光学、军工航天、机械电子等领域都有着十分重要的应用价值和极其广阔的应用背景。光学元件根据表面形貌分为平面光学元件、球面光学元件、非球面光学元件以及自由曲面光学元件。不同类型的光学元件再加工、测量方面难度依次增加，非球面光学元件相对于自由曲面光学元件加工难度低，却依旧拥有优良的光学特性，此外具有微结构表面的光学功能元件作为制造微小型光电子系统的关键元件，其具有便于光学设计者优化光学系统，减轻质量，缩小体积，实现集成等优点，同时能够实现普通光学元件难以达到的微小、阵列、集成和波面转换等新功能，因此非球面光学元件的应用较为广泛。

生活消费级的摄影光学镜头、未来能源非晶薄膜太阳能电池、科技前沿的深紫外光刻机的特殊物镜、遍布全球的微结构光纤通讯、太空通讯及航空航天装备等均用到了不同类型的微结构光学元件。相机镜头及液晶显示器的表面具有微透镜阵列背光模组，能够以较小的光源能量获得较亮且均匀的显示效果；互联网信息时代的产物光纤作为信息传输工具，其损耗低，能进行远距离传输、频带宽、传输信息容量大，不会受到电磁干扰，其中光纤透镜能够提高半导体激光器和光纤的耦合效率，将光纤端面加工为斜面、锥面、楔形、球形以及几种型面组合的透镜，特殊几何形状端面的光纤透镜可以改变光强分布状态和强度，改善信号的信噪比和改变光纤传输的作用。相较于抛光、熔融拉锥、光栅刻写等传统光纤透镜加工技术，光纤透镜微磨削加工技术能够提高加工效率和精度。此外单晶硅太阳能电池有很高的光电转换效率，但是基于其成本和加工工艺的制约难以广泛使用，为此学者提出在光伏玻璃基板上加工出具有曲面结构的微透镜阵列，一方面将入射平行光进行散射，多次折射后传播到电池发电层，另一方面可以吸收环境中的散射光线进行聚光，增加入射光接收面积提高光电转换效率。军事方面光学功能元件在战略战术导弹与军用飞机成像的制导系统中，使导弹精确制导能力和突防能力得到极大提升，而其成像特性能够改善像差实现高精度成像，因此在卫星成像系统中应用广泛。

1.1.2微结构的模压成形技术

微结构光学元件的优秀的光学特性以及微小型特点使其应用囊括了从生活到军工，具有十分广阔的发展前景然，是光学领域未来发展的主要方向。然而光学元件的性能直接受其加工精度的影响，生产效率也会受到工艺的限制，一般对于微透镜阵列曲面的表面粗糙度要求为0.025μm左右，可见其加工极其困难，加工成本也难以控制；目前对于微结构表面的加工方法有能量束直写技术、蚀刻技术、微放电加工技术、微光刻电铸模造（LIGA）技术、超精密机械加工以及复制加工技术。其中能量束直写技术包括激光束和电子束加工技术，前者只能用于原理性加工实验研究，精度和加工效率以及加工范围低；电子束精度得到提升，但是加工效率仍旧难以满足