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UDC

中华人民共和国国家标准

PGB50×××－2013

多晶硅工厂设计规范

Codefordesignofpolysiliconplant

（征求意见稿）

2013-xx-xx发布2013-xx-xx实施

中华人民共和国住房和城乡建设部

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布

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中华人民共和国国家标准

多晶硅工厂设计规范

Codefordesignofpolysiliconplant

GB50XXX—2013

主编部门：中国有色金属工业协会

批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

施行日期：2013年X月X日

中国计划出版社

2013北京

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前言

本规范是根据住房和城乡建设部《关于印发〈2011年工程建设标准规范制

订、修订计划〉的通知》（建标[2011]17号）的要求，由中国恩菲工程技术有限

公司会同有关单位共同编制完成的。

本规范在编制过程中，编制组依据现行相关标准，进行了深入调查研究，在

认真总结了近年来多晶硅行业的设计、建设以及管理经验和技术进步的基础上，

通过反复讨论并广泛征求了有关设计、科研、生产等单位的意见，最后经审查定

稿。

本规范共分12章，主要技术内容包括：总则、术语代号、设计规定及依据、

厂址选择及厂区规划、工艺设计、电气及自动化、辅助设施、建筑结构、给水排

水、采暖通风空气调节、环保安全卫生、节能余热回收等。

本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由中国有色金

属工业工程建设标准规范管理处负责日常管理工作，由中国恩菲工程技术有限公

司负责具体技术内容的解释。

本规范在执行过程中，请各单位注意总结经验，积累资料，随时将有关意见

和建议反馈给中国恩菲工程技术有限公司（地址：北京市复兴路12号，邮政编

码：100083），以便今后修订时参考。

本规范主编单位、参编单位、主要起草人员和主要审查人员名单：

主编单位：中国恩菲工程技术有限公司

参编单位：华陆工程科技有限公司

洛阳中硅高科技有限公司

江西赛维LDK光伏硅科技有限公司

主要起草人员：xxx、xxx、xxx、xxx

主要审查人：xxx、xxx、xxx、xxx

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目录

1总则1

2术语、代号2

2.1术语2

2.2代号3

3设计规定及依据4

3.1设计规定4

3.2设计依据4

4厂址选择及厂区规划5

4.1厂址选择5

4.2厂区规划5

4.3总体规划6

5工艺设计8

5.1一般规定8

5.2三氯氢硅氢还原8

5.3还原尾气干法回收9

5.4三氯氢硅生产9

5.5氯硅烷精馏9

5.6硅芯制备及多晶硅产品后处理