【英语版】国际标准 ISO 21466:2019 EN Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM 微束分析 扫描电子显微镜 利用 CD-SEM 评估临界尺寸的方法.pdf

ISO21466:2019EN是一个标准，用于Microbeamanalysis-Scanningelectronmicroscopy-MethodforevaluatingcriticaldimensionsbyCD-SEM（微束分析-扫描电子显微镜-用于通过CD-SEM评估临界尺寸的方法）。这是一个评估通过CD-SEM（计算机断层扫描电子显微术）测量关键尺寸（criticaldimensions）的标准。具体来说，它涵盖了使用扫描电子显微镜技术进行微观分析的方法，以便评估和分析样品中的关键尺寸。该标准对操作步骤、仪器设置、数据收集和分析等细节进行了详细的描述。在进行具体的分析之前，应参考此标准，以确保准确和可靠的测量结果。请注意，这是一个非常专业的标准，可能需要专门的知识和技能才能正确应用。