【英语版】国际标准 ISO 23216:2021 EN 碳基薄膜 通过光谱椭偏仪测定无定形碳薄膜的光学特性 Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry.pdf

ISO23216:2021EN“碳基薄膜—通过光谱椭偏法测定非晶碳膜的光学性能”是国际标准化组织(ISO)发布的一份关于碳基薄膜的标准化文件。这份文件详细规定了如何使用光谱椭偏法来测量和分析非晶碳膜的光学性能。非晶碳膜是一种特殊的碳基薄膜，在纳米尺度上表现出各种独特的物理和化学性质，因此在许多领域（如光学、电子学、材料科学等）具有广泛的应用价值。

光谱椭偏法是一种精密的光学测量技术，它可以提供薄膜的介电常数、折射率等重要参数，从而帮助我们了解薄膜的电学、光学和机械性能。在ISO23216标准中，详细说明了如何使用光谱椭偏法来测量非晶碳膜的厚度、折射率、光学带隙、吸收系数等参数，从而更全面地了解这种薄膜的性能。

ISO23216:2021EN标准为理解和分析碳基薄膜，特别是非晶碳膜的光学性能提供了重要的指导和技术支持。