GB_T 28893-2024表面化学分析 俄歇电子能谱和X 射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息.docxVIP

ICS71.040.40CCSG04

中华人民共和国国家标准

GB/T28893—2024/ISO20903:2019代替GB/T28893—2012

表面化学分析俄歇电子能谱和

X射线光电子能谱测定峰强度的

方法和报告结果所需的信息

Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopyand

X-rayphotoelectronspectroscopy—Methodsusedtodeterminepeak

intensitiesandinformationrequiredwhenreportingresults

(ISO20903:2019,IDT)

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T28893—2024/ISO20903:2019

目次

前言 Ⅰ

引言 Ⅱ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4符号和缩略语 1

5测定直接谱峰强度的方法 1

5.1通则 1

5.2非弹性本底的选择和扣除 2

5.3峰强度的测量 3

5.4用计算机软件测量峰强度 4

5.5重叠峰谱图的峰强度测量 4

5.6峰面积的测量不确定度 5

6俄歇电子微分谱的峰强度测定方法 5

6.1通则 5

6.2俄歇电子微分谱强度的测量 6

6.3俄歇电子微分谱强度测量的不确定度 6

7测量峰强度方法的报告 8

7.1一般要求 8

7.2测定直接谱峰强度的方法 8

7.3获得和测定俄歇电子微分谱峰强度的方法 9

附录A(资料性)仪器对测量强度的影响 10

附录B(资料性)确定XPS谱峰强度时可用的积分限值 11

参考文献 12

Ⅰ

GB/T28893—2024/ISO20903:2019

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件代替GB/T28893—2012《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱测定峰强度的方法和报告结果所需的信息》,与GB/T28893—2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:

a)更改了术语和定义(见第3章,2012年版的第3章);

b)更改了6.3的内容,替换为包括处理共存化学态的现代方法(见6.3,2012年版的6.3)。

本文件等同采用ISO20903:2019《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱测定峰强度的方法和报告结果所需的信息》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本文件起草单位:厦门荷清教育咨询有限公司、厦门大学。

本文件主要起草人:徐富春、时海燕、岑丹霞、汤丁亮、刘芬、王水菊。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

—2012年首次发布为GB/T28893—2012;—本次为第一次修订。

Ⅱ

GB/T28893—2024/ISO20903:2019

引言

俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的重要特征是能获得固体样品表面区域(深度≈1nm~10nm)的定量分析结果,这样的分析需要测定谱峰的强度。

有几种峰强度测量方法适用于AES和XPS。实际上,方法的选择将取决于所分析样品的类型、所用仪器的性能以及可用的数据采集与处理方法。

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GB/T28893—2024/ISO20903:2019

表面化学分析俄歇电子能谱和

X射线光电子能谱测定峰强度的

方法和报告结果所需的信息

1范围

本文件规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要信息,也提供了峰强度测量方法和导出的峰