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基于阶梯归一化法半导体管特性图示仪校准仪的研制.pdf

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    摘要

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    半导体管特性图示仪也称晶体管特性图示仪（以下简称图示仪），它可快速、方

    便、直观的实现半导体器件直流参数、I/V特性参数的测量，是半导体器件质量控制

    的重要仪器。图示仪主要用于仪器维修的元器件替换、半导体器件生产的良率测试、

    高校实践课程的教学等领域，图示仪的各个参数指标是否准确是半导体器件测试结

    果是否可靠的重要保证，因此对图示仪的各个测量参数定期进行校准十分必要的。

    针对图示仪校准需求，依

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