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摘要
摘要
本文基于上海某微电子有限公司所设计的某型步进扫描式光刻机工作台进行工
作台电机控制系统的控制器设计及其算法优化研究。
光刻机工作台控制系统作为光刻机运动控制系统中的重要部分之一，它承载着硅
片完成曝光扫描工作，决定着光刻机整体曝光质量。因此需要对工作台的控制精度进
行优化，使工作台电机控制精度达到设计需求指标。
首先本文根据步进扫描光刻机工作台的运动特性及其工作台控制系统指标分析
工作台在扫描曝光
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