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高功率因子碲化铋基磁控溅射热电薄膜研究.pdfVIP

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  • 2024-08-04 发布于江苏
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高功率因子碲化铋基磁控溅射热电薄膜研究.pdf

    摘要

    摘要

    随着互联网的发展，电子设备的集成度越来越高，对电子元器件的控温散热

    要求也愈加苛刻。具有高柔性和可扩展性的热电薄膜器件可以实现局部冷却、加

    热和发电，在电子元器件热管理、物联网传感器自供电等多个领域均表现出了良

    好的应用潜力，但微米级以上热电薄膜性能不佳，严重阻碍了它们的广泛应用。

    本论文首先开展了n型BiTe薄膜的多靶磁控溅射工艺优化研究，并开发了

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