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纯化水

1主题内容与通用范围

本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术

要求、测试方法和规则。

本标准适用于去离子处理后的高纯水。

2引用标准

GB11446电子级水及其检测方法。

3术语

3.1电导率Electricalconductivity

3

在规定温度下，1cm水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导

率通常以μS/cm为单位。

纯水的理论电导率为0.05482μs/cm(25℃时)。

3.2电阻率Resistivity

电导率之倒数。

纯水的理论电阻率为18.248MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。

3.3总溶解性固体Totaldissolvedsolids（TDS）

水中溶解物质的总含量，包括钙镁离子、胶体、悬浮颗粒物、蛋白质、

病毒、细菌、微生物及尸体。TDS通常以mg/L或ppm为单位。

3.4总硬度（DH值）

水总硬度是指水中Ca+、Mg+的总量。

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硬度一般以德国标示法为准，计为DH。即以每升水含氧化钙10mg为

1DH。小于8DH为软水、大于17DH为硬水。

1德国硬度＝国际通用硬度×0.056，或1°DH约相当于CaCO硬度

3

17.8ppm。

3.5颗粒性物质Granularsubstance

除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。

3.6总有机碳(TOC:Totalorganiccarbon)

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般的强氧化剂氧化

的有机物和需用特殊化学处理的有机物。

3.7总固体Totalsolid

水样蒸发、烘干后残留的固体总量。

3.8全硅Totalsilicon

水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅

之差即称为胶体硅。

3.9高纯水High-purewater,Ultra-purewater

电阻率在5MΩ·cm以上，以各种形式存在的物质含量有一定规定限制的

很纯净的水

3.10原水Rawwater

进入纯化处理工序之前的水。常用的原水如自来水、地表水和地下水等。

3.11终端Terminal

高纯水生产流程中经过各道纯化工艺后，水的出口使用地点。可分别称

为制水终端和用水终端。

3.12微量Micro-amount

试样量在1mg左右。

3.13痕量Traceamount

试样量在1μg左右。

3.14百万分之一(ppm)partpermillion

重量比的单位，相当于每百万单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。

在水质分析中，一般也认为相当于每升中水样含杂质的毫克数(mg/L)。

3.15十亿分之一(ppb)partperbillion

重量比的单位，相当于每十亿单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。

在水质分折中，一般认为相当于每升水样中含杂质的微克数(μg/L)。

4高纯水的级别

4.1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和PH标志。

4.2电子级高纯水

4.2.1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：

a．具有精细图形结构；

b．对器件表面有特殊要求；

c．工艺对水质有特定的严格要