碳化硅单晶生长用等静压石墨-征求意见稿.pdfVIP

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  • 2024-08-06 发布于江苏
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碳化硅单晶生长用等静压石墨-征求意见稿.pdf

ICS31.030

CCSQ50/59

团体标准

T/CASAS048—202X(征求意见稿)

碳化硅单晶生长用等静压石墨

Iso-staticgraphiteforsiliconcarbidesinglecrystals

(征求意见稿)

在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASAS048—202X(征求意见稿

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