碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法-征求意见稿.pdfVIP

ICS31.030

CCSQ50/59

团体标准

T/CASAS036—202X（征求意见稿）

碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测

定方法辉光放电质谱法

Testmethodforpurityofiso-staticgraphitecomponentsusedinthe

growthofsiliconcarbidesinglecrystals-Glowdischargemass

spectrometry

（征求意见稿）

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XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

第三代半导体产业技术创新