洁净室的建设及验收标准.pdfVIP

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一、洁净室的定义

洁净室（CleanRoom）是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把空气中的微粒子、有害

空气、细菌等污染物排除室外，并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、

噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。洁净室最主要的作用在于控制产品所接触的空气的

无尘度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照

国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。也就

是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰

尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微，但是对于一些精密产品生产，比如光学

行业而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学行业产品的生产上，无尘是

必然的要求。

二、洁净室的结构组成

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完

整且品质良好的洁净室：

(1)天花板系统：包括吊杆、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；

(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等；(3)隔墙板：包括窗户、门；

(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板；照明(5)器具：包括日光灯、黄色灯管等；

洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：

A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；

C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；

以上信息概括为：①组合式FFU机组②无尘送风管道③无尘回风管道④送风静压箱⑤高效过滤器

⑥多孔扩散板⑦洁净室吊顶⑧洁净室隔断⑨高效送风口⑩新风口

三、洁净室的等级

1、洁净室等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E

和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

2、209E与209D等最大的不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以ㄆM′字头表示，

如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位的标准化，M字母后的阿拉伯数目字是

以每立方公尺中=0.5μm的微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为的，若微尘粒子数介于前

后二者完全幂次方的间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

3、美国联邦标准FS209D都以英制每立方英?为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，

以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，最好的

等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

四、洁净室控管的项目

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1.能除去空气中飘游的微尘粒子。能防止微尘粒子的产生。2.温度和湿度的控制。3.

4.压力的调节。有害气体的排除。5.结构物与隔间的气密性。6.

7.静电的防制。电磁干扰预防。8.安全因素的考虑。9.节能的考量10.

五、洁净室之分类

5.1乱流式(TurbulentFlow)

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架

地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000

级。

优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工

作台，提高洁净室等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，

欲达需求之无尘度，往往须耗时相当长一段时间。

5.2层流式(Laminar)

层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两

侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

其型式可分为二种：

(1)水平层流式：水