【英语版】国际标准 ISO 14644-9:2012 EN Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration 洁净室及相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度划分的表面洁净度等级.pdf

ISO14644-9:2012ENCleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part9:Classificationofsurfacecleanlinessbyparticleconcentration是关于无尘室及相关受控环境的国际标准。这个标准详细描述了如何通过颗粒浓度的数量来分类表面的清洁程度。

该标准将表面清洁程度分为五个等级，从低到高为：

*等级1：可能存在大于5μm的颗粒，但数量很少，不会对产品造成影响。

*等级2：可能存在大于5μm的颗粒，也可能存在大于2μm的颗粒。这个等级通常用于生产一般医疗器械或电子元件的环境。

*等级3：这个等级对清洁度要求较高，要求表面几乎没有大于0.5μm的颗粒，通常用于生产高度精密的电子元件或医疗器械的环境。

*等级4：这个等级的表面清洁度要求最高，几乎没有任何大于0.1μm的颗粒，通常用于生产高度敏感的微电子器件的环境，如半导体芯片等。

*等级5：这个等级是最高等级，除了小于0.1μm的颗粒外，还要求表面无微生物污染。这个等级通常用于生产生物医学设备的环境。

这个标准还规定了进入无尘室的相关要求，如穿戴无尘服、佩戴手套和口罩等防护用品，以及如何设置和维护无尘室的设施等。因此，对于需要高度清洁环境的生产环境来说，ISO14644-9:2012ENCleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part9:Classificationofsurfacecleanlinessbyparticleconcentration是一个非常重要的标准。