- 1、本文档共13页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
ICS77.040
CCSH17
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/TXXXX-XXXX
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测
定电感耦合等离子体发射光谱法
Graphiteproductsforpolysiliconproduction-Determinationofimpurity
contentonthesurface-Inductivelycoupledplasmaspectrometricmethod
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/TXXXX-XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员
会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)提出并归口。
本文件起草单位:
本文件主要起草人:
I
YS/TXXXX-XXXX
多晶硅生产用石墨制品表面杂质含量的测定
电感耦合等离子体发射光谱法
1范围
本文件规定了多晶硅生产用石墨制品表面杂质中钠、镁、铝、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌、砷、
铅、锰、硼、磷等元素的电感耦合等离子体发射光谱仪测定方法。
本文件适用于多晶硅生产用石墨制品中表面杂质元素含量的测定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T6678化工产品采样总则
GB/T6679固体化工产品采样通则
ASTMD5127电子和半导体工业中用超纯水指南
GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4方法原理
利用石墨表面杂质的可溶性,将样品浸泡于硝酸溶液中使其表面杂质溶于酸中,制备成待测溶液。
待测溶液通过进样系统,进入电感耦合等离子体光谱仪(ICP-OES),测定待分析金属元素的含量。
5干扰因素
5.1采样后,在洁净室打开包装内袋,使样品减少外界带来的污染。
5.2使用的器皿、工具和进样系统的洁净度及操作过程等因素直接影响测定结果的准确度,保证其洁
净。
5.3化学试剂的纯度影响测定结果的准确度,测定前应确认超纯水、硝酸的纯度符合7.1和7.3要求。
5.4元素谱线的选取对测定结果有影响,为消除谱线的干扰,可选取表1中推荐谱线,也可根据不同
仪器选取其他推荐谱线,但需确认不受邻近元素谱线的干扰。
6测试环境
6.1环境温度:18℃~25℃。
6.2相对湿度:不大于65%。
6.3洁净室等级:满足GB/T25915.1—2021中定义的ISO6级及以上的要求。
1
您可能关注的文档
- GBT35938-2018 条斑紫菜 丝状体培育技术规范.pdf
- GMT0001.1-2012 祖冲之序列密码算法 第1部分:算法描述.pdf
- GBT-道路车辆 液化天然气(LNG)燃气系统部件 第4部分:手动阀.pdf
- GAT1609-2019 法庭科学 生物检材中林可霉素检验 液相色谱-质谱法.pdf
- GBT-道路车辆 液化天然气(LNG)燃气系统部件 第18部分:气体温度传感器.pdf
- 质量分级及“领跑者”评价要求 微型往复活塞式空气压缩机及编制说明.pdf
- 餐饮服务经营规范.pdf
- GBT26629-2011 粮食收获质量调查和品质测报技术规范.pdf
- 多孔隙透水混凝土路面技术标准及编制说明.pdf
- 知识产权专项资金项目兑现细则.pdf
最近下载
- 五年级劳动教学计划.docx VIP
- GJB9001C-2017管理手册、程序文件及表格汇编.doc
- 部编版语文三年级上册第1课《大青树下的小学》PPT课件.pptx
- 第10课《爬山虎的脚》第二课时(教学设计)四年级语文上册(统编版五四制).docx
- 39-风湿病科--浊瘀痹(痛风性关节炎)中医诊疗方案(2017年版)(1).pdf
- 中建集团一手册一方案六意见宣讲会测试题.doc VIP
- DB32_T 2948-2016水利工程卷扬式启闭机检修技术规程.docx
- 2022年北京市门头沟区2022届初三二模英语试题卷(附答案).docx
- SNT 4233-2021 进境牛羊指定隔离检疫场建设规范.pdf
- 重庆中医药学院招聘考试真题2024.docx
文档评论(0)