一种可控气氛焰熔法制备金红石单晶体的工艺及装置.doc

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1323194C(43)申请公布日2007.06.27

(21)申请号CN200410021398.3

(22)申请日2004.03.16

(71)申请人东北大学

地址110004辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号

(72)发明人毕孝国;孙旭东;赵洪生;修稚萌

(74)专利代理机构沈阳东大专利代理有限公司

代理人刘晓岚

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种可控气氛焰熔法制备金红石单晶体的工艺及装置

(57)摘要

一种可控气氛焰熔法制备金红石单晶体的工艺及装置,以4N5高纯金红石微粉为原料,在装有由内供氧管、供氢管与外供氧腔同轴依次套在一起构成的水冷燃烧器和炉膛为纺锤型的晶体生长炉中,通过调整燃烧器外供氧管的供氧量控制生长室炉膛中氢氧比m=0.5~0.85,室内氧气分压力为0.04~0.076MPa,生长室轴向温度梯度ΔT为4.5~6.5℃/mm,生成直径φ≥20mm金红石单晶体;生成的金红石单晶体要在1570~1650℃下在氧气气氛退火炉中退火,退火炉中绝对压力为0.13~0.2MPa。纺锤型炉膛由上下两圆台体和中间圆柱体构成,上圆台体进口直径d

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

2005-01-12

公开

公开

2005-03-09

实质审查的生效

实质审查的生效

2007-06-27

授权

授权

2011-05-25

专利权的终止

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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