表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度 编制说明.pdf

《表面化学分析二次离子质谱

用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》编制说明

1、工作简况

2000年2月，《Surfacechemicalanalysis–Secondaryionmassspectrometry–

Determinationofboronatomicconcentrationinsiliconusinguniformlydoped

materials》的第1版ISO14237:2000正式公布实施后，2010年7月，该国际标准

的第2版ISO14237:2010正式公布，为了使二次离子质谱尽快与国际接轨，全

国微束分析技术委员会表面分析分技术委员会于2022年提出将对ISO

14237:2000（第1版）国际标准等同转化的国家标准GB/T20176-2006进行修订，

并通过把ISO14237:2010（第2版）国际标准等同转化为国家标准来实施该修订。

国家标准化管理委员会2023年12月已批准并颁布的该标准的制修订国家标准计

划。

清华大学分析中心于2013年引进了飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)，

专门成立了飞行时间二次离子质谱分析技术小组，在金属、半导体、陶瓷、有机、

无机、高分子、医学、生物等固体材料表面的微量杂质、化学成分分析，以及各

种材料表面的逐层分析开展了大量的工作，积累了丰富的实践经验。因此清华大

学化学系（清华大学分析中心）承担了本国家标准的修订起草工作。

在接到国家标准化管理委员会下达的国家标准制订计划后，清华大学于

2022年成立了标准起草工作组。2022年清华大学分析中心的李展平博士团队完

成ISO14237:2010（第2版）国际标准的翻译，并对照国家标准GB/T20176-2006，

形成了修订标准的征求意见稿。在今后的一年时间里，将征求意见稿发往国内二

次离子质谱分析仪器的用户，收集相关意见，形成《征求意见汇总处理表》，并

依此修改形成修订标准送审稿。

2、标准编制原则和标准主要内容确定依据

本修订标准等同采用国际标准ISO14237:2010《Surfacechemicalanalysis–

Secondaryionmassspectrometry–Determinationofboronatomicconcentrationin

siliconusinguniformlydopedmaterials》。本修订标准文本的编写严格遵守了GB/T

1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》和GB/T20000.2-2009

《标准化工作指南则第2部分：采用国际标准》中给出的规则和格式要求。

3、主要试验验证的分析

本修订国家标准等同采用国际标准ISO14237:2010。2022年以来，在等同

采用国际标准修订本国家标准的过程中，清华大学分析中心用飞行时间二次离子

质谱仪分析表征硅中硼的原子浓度时，均按照本修订国家标准实施。实践表明本

修订国家标准可靠、准确、实用。

4、采用国际标准和国外先进标准情况

二次离子质谱仪分析技术的国际标准化工作由ISOTC201/SC6国际标准

化组织表面化学分析委员二次离子质谱工作组承担。《Surfacechemicalanalysis

–Secondaryionmassspectrometry–Determinationofboronatomic

concentrationinsiliconusinguniformlydopedmaterials》的第1版ISO14237:2000

于2000年2月正式公布，该国际标准的第2版ISO14237:2010于2010年7月

正式公布，这两版标准的内容在美国、日本、欧洲等国均无相应标准对应。清华

大学于2022年申请国家标准的修订项目，等同采用ISO14237:2010。

5、与有关的法律、法规和强制性标准的关系

本国家标准不违反国家现行的有关法律、法规，也与国家强制性标准无冲突。

6、