表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜 编制说明.pdf

《表面化学分析辉光放电发射光谱法分

析金属氧化物膜》

征求意见稿编制说明

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一、工作简况

2019年8月，ISO/TS25138:2019（Surfacechemicalanalysis–Analysisofmetal

oxidefilmsbyglow-dischargeoptical-emissionspectrometry）修订版发布。表面分

析是半导体器件、新材料、新能源和生医技术等战略性新兴产业的重要技术支撑。

辉光放电发射光谱仪是微纳功能器件、金属材料功能薄膜涂镀层等表面化学分析

领域重要的科学仪器设备之一。辉光放电发射光谱（GD-OES）不仅适合块体和

薄膜材料成分分析，而且也是薄膜表面及深度分析的一种常用的表征手段。《表

面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》国家标准的制修订为具有

微、纳米厚度的金属氧化物膜厚和组分的测定、仪器的选择、测试条件的设置、

测量方法的标准化、测量结果的一致性提供了理论依据与实践指导；拓展了辉光

放电光谱仪器在金属氧化物薄膜领域的检测范围，并为相关金属氧化物薄膜和组

分标准物质的研制打下了基础。本项工作为利用辉光放电光谱分析金属氧化物膜

厚度和组分提供了一种标准方法，同时也为金属氧化物膜的生产和质量控制提供

技术支持。

为使我国GD-OES法分析技术保持与国际接轨，国家标准与ISO标准同步，

全国微束分析技术委员会表面分析分技术委员会于2023年提出将ISO/TS

25138:2019转化为国家标准，并列入国家标准委2023制修订国家标准计划，项目

编号T-469。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。

本标准起草单位上海市计量测试研究院、上海科技大学和中科院化学研究

所。上海市计量测试技术研究院（中国上海测试中心）于2006年引进了辉光放电

发射光谱仪、X射线多功能电子能谱仪（XPS），专门成立了表面分析技术小组，

2023年引进了辉光放电质谱仪，2024年更新了X射线多功能电子能谱仪。在金属

材料的化学成分分析和材料的表面深度剖析等方面开展了大量的工作，也积累了

丰富的实践经验。2016年，上海市计量测试技术研究院等同采用ISO/TS

25138:2010制定了GB/T32996-2016《表面化学分析辉光放电发射光谱法分析

金属氧化物膜》。上海科技大学在近常压表面分析等方面开展了大量研究工作，

并具有丰富的标准制修订经验。中国科学院化学研究所是我国化学学科研发的

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领军者，同时在表面化学分析领域已制定了近20项国家标准。三家单位在表面化

学分析与标准化方面都具有丰富的经验。此次共同承担《表面化学分析辉光放

电发射光谱法分析金属氧化物膜》国家标准的修订工作。

本标准起草组成员为：陈永康、徐建、赵志娟、张云艳、张笑旻、王帅、郝

萍、刘芬、周莹、吴立敏。其中刘芬为SAC/TC38和SAC/TC38/SC2委员，徐建、

赵志娟为SAC/TC38/SC2委员。

本标准责任人徐建负责本标准制定全过程技术内容把关，组织协调。陈永康

和张笑旻负责进行ISO/TS25138:2019全文翻译，形成翻译稿，并参与全过程讨论

修改工作。张云艳、王帅、郝萍负责按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1

部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2—2020《标准化工作导则第2

部分:以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》给出的规则对翻译稿

进行编写，形成《征求意见稿》。吴立敏、周莹负责国家标准文本征求意见稿的

修改与完善；赵志娟、刘芬负责SAC/TC会议审查修改并形成《报批稿》，报送国

家标准委审评中心的沟通修改定稿。

2023年，标准起草组按照ISO/TS25138:2019发布版进行的翻译，向SAC/TC38

报送了《表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》推荐性国家标

准项目建议书，2023年12月28日，国家标准委下达本国家标准制订计划任务。

起草组经多次修改，2024年8月形成了本标准《征求意见稿》，发送给SAC/TC38

各位委员和专家。

二、标准编制原则、主要内容和确定依据

本标准等同采用国