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低真空的获取与测量

学号P

实验目的:

掌握低真空获得和测量的方法.

实验原理:

1)旋片式机械泵

（1）结构及原理

旋片式机械泵的结构如图6.1.1所示.它由转子6定子7旋片4（或称刮板）活门和油槽

等所构成.泵的定子装在油槽中，定子的空腔是圆柱形.转子是圆柱形，它偏心地装成与定子空

腔内切位置.转子可绕自己旋转对称轴转动，方向如图所示.转子转动是由马达带动的.转子中镶有两

块刮板,刮板之间用弹簧相连,使刮板紧贴在定子空腔内壁上,当转子转动时，被抽容器中的气体经过

进气口到定子与转子之间的空间,由活门及出气口排出.定子浸在油中，油是起密封、润滑与冷却作

用的.进油槽是为了让油进人空腔，进空腔的油除了上述作用外，还起着协助打开活门的作用.因为

在压强很低时被压缩的气体不足以打开活门,而不可压缩的油将强迫活门被打开.一般油面在活门上

一定距离.活门的作用是让气体从泵中排出，而不让大气进入泵中.活门的结构为一金属片或金属球

构成.工作原理如图6.1.2所示.图中6.1.2(a)表示两刮板转动.上刮板A与进气口之间的体积不断增

大，这时被抽容器内气体从进气口进入

这部分空间.图（b）、(c)表示进入泵中的气体被刮板B与被抽容器隔开并被压缩到活门.当转

子转动到图(d)位置时，被压缩的气体的压强大于大气压，这时活门被打开，气体排出泵外.这个过

程反复不断被抽容器内的气体就不断被抽出泵外.

（2）泵的极限压强和抽速

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机械泵的主要指标（或参量）是极限压强和抽气速率.常用机械泵进气口的最低压强可达l~10

1-2-3

Pa,（10~10Torr）真空度，即机械泵的极限真空度.目前常用的机械泵多为两个或两个以上的泵芯

-2

串联起来形成的二级泵或多级泵,其极限真空度可达10Pa或更高.

图6.1.3是旋片式机械泵的抽速特性曲线.由图可见，在压强较高的一段范围内，抽速随压强的

变化不大.当压强快到极限压强时,抽速迅速下降，最后在极限真空度时抽速为零.这是因为压强很高

时由泵返回被抽容器内的气体仅占次要地位，可被忽略.当容器内压强不断降低时，返回容器内的

气体与被排出气体相比,就越来越不可忽略，因此抽速下降.最后，从容器中排出气体量等于返回容

器内的气体量时,容器中的气体就不再减少了，这时泵的抽速就为零.

（3）注意事项

机械泵工作时由电动机动力维持者抽气口和排气口的压强差，一旦停止工作，排气口的大气压

将把真空泵油压到定子腔中，造成返油事故.因此，机械泵停止工作后必须使抽气口与大气相通，

使泵的进气口和排气口气压平横.

2）粗真空、低真空的测量

(1)U形管压强计这是最简单的绝对压强计分为开管、闭管两种.本实验中采用的是闭管式.测

量时，将U形管开口端与待测