硅单晶及硅片单位产品能源消耗限额（征求意见稿）.pdf

ICS27.010

F10

DB31

上海市地方标准

DB31/792—XXXX

代替DB31/792—2020

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

Thenormofenergyconsumptionperunitproductsfor

monocrystallinesiliconandsiliconwafer

(征求意见稿)

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

上海市市场监督管理局发布

DB31/792—XXXX

前言

本文件的全部技术内容为强制性。

本文件按照GB/T1.1—2020给出的规则起草。

本文件代替DB31/792—2020《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》，与DB31/792—2020相比，

主要变化如下：

——取消了硅单晶研磨片的要求，修改了适用范围；

——调整了规范性引用文件，删除了GB/T12965，增加了GB/T12723；

——修改了第3章术语和定义的陈述；

——增加第4章“产品分类”；

——修改了原第4章，删除了硅单晶研磨片产品的能耗要求，重新划分了产品类别；增加了8英寸、

12英寸产品；重新规定了硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额的限定值、准入值、先进值；

——修改了附录A，增加了常用能源品种。

本文件由上海市经济和信息化委员会、上海市发展和改革委员会提出；由上海市经济和信息化委员

会组织实施。

本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。

本文件起草单位：上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有

限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海

超硅半导体股份有限公司。

本文件主要起草人：

本文件所代替标准的历次版本发布情况为：

——DB31/792—2014，DB31/792—2020。

本次为第二次修订。

I

DB31/792—XXXX

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

1范围

本文件规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的适用范围、能耗要求、统计范围、计算方

法及节能降耗导向。

本文件适用于半导体级硅单晶和硅单晶片（包括抛光片、外延片，以下统称“硅片”）生产企业单

位产品能源消耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2589综合能耗计算通则

GB/T12723单位产品能源消耗限额编制通则

GB/T12962硅单晶

GB/T12964硅单晶抛光片

GB/T14139硅外延片

GB17167用能单位能源计量器具配备和管理通则

3术语和定义

GB/T2589、GB/T12723界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

硅单晶monocrystallinesilicon

高纯度的多晶硅在单晶炉内用直拉法拉制的圆柱形硅单晶棒