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ICS31.030
CCSQ50/59
团体标准
T/CASAS036—202X（征求意见稿）
碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测
定方法辉光放电质谱法
Testmethodforpurityofiso-staticgraphitecomponentsusedinthe
growthofsiliconcarbidesinglecrystals-Glowdischargemass
spectrometry
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
第三代半导体产业技术创新战略联盟发布
T/CASAS036—202X（征求意见稿）
目次
前言II
引言III
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4试验原理1
5试验环境2
6仪器设备2
辉光放电质谱仪2
制样设备2
7试剂与材料2
8试样2
取样3
试样制备3
9试验步骤3
仪器准备3
9.1.1质量校正3
9.1.2检测器交叉校正3
试样测试3
10试验结果3
11试验报告4
附录A（资料性）元素同位素及分辨率5
参考文献6
I
T/CASAS036—202X（征求意见稿）
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）制定发布，版权归CASA所有，未经CASA许可
不得随意复制；其他机构采用本文件的技术内容制定标准需经CASA允许；任何单位或个人引用本文件的
内容需指明本文件的标准号。
本文件主要起草单位：
本文件主要起草人：
II
T/CASAS036—202X（征求意见稿）
引言
等静压石墨是由碳骨料、沥青等原材料通过磨粉、混捏、等静压成型、焙烧、浸渍、石墨化、纯化
等工艺制造而成的石墨，也称为“各向同性”石墨。等静压石墨在碳化硅单晶生长过程中应用广泛，主
要用于制造碳化硅单晶生长用的热场构件，如加热器、坩埚、籽晶托等。这
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