失配应变对BaTiO3铁电薄膜储能性能的影响.docx

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2024-08-23 发布于广东
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失配应变对BaTiO3铁电薄膜储能性能的影响

摘要：BaTiO3具有典型的钙钛矿结构，除用作压电、热释电材料外，由于具有自发极化、高的介电常数(ε可达103~104)、低的介电损耗以及高的功率密度，使其成为电介质储能电容器的理想材料。同时BaTiO3是一种无铅铁电材料，和传统铅基反铁电材料相比，对人体和环境更友好，更加满足人类可持续发展的要求。随着近些年电子器件向小型化、集成化、低功耗发展的趋势，电子薄膜材料也越来越受到重视。与块体材料相比，铁电薄膜因具有体积小、缺陷较少、能承受更高的电场、储能密度更高等优点，受到了广泛的关注。由于铁电薄膜材料与衬底的晶格常数不一致而产生的失