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《薄膜技术与材料》课程笔记

第一章绪论

一、薄膜的定义与分类

薄膜是一种厚度在纳米到微米量级的材料，具有独特的物理、化学和生物学性能。根据薄膜的组成和性质，可以分为以下几类：

1.金属薄膜：具有优良的导电、导热和耐腐蚀性能，广泛应用于电子、光学和催化领域。

2.无机非金属薄膜：包括氧化物、氮化物、碳化物等，具有优异的机械、热学和电学性能。

3.有机薄膜：具有较低的介电常数、良好的柔韧性和生物相容性，广泛应用于光电子、生物医学和能源领域。

4.复合薄膜：由两种或两种以上不同材料组成，具有协同效应和多功能性。

二、薄膜的性质与重要性

薄膜具有以下重要性质：

1.表面和界面效应：薄膜的物理、化学性质与其表面和界面密切相关，表面和界面效应决定了薄膜的性能和应用。

2.尺寸效应：薄膜的物理性能与其厚度、晶粒尺寸等微观结构参数有关，尺寸效应使得薄膜具有独特的性能。

3.薄膜生长与结构：薄膜的生长过程和结构对其性能具有重要影响，研究薄膜生长过程和结构有助于优化薄膜性能。

4.薄膜应用：薄膜在电子、光电子、能源、生物医学等领域具有广泛的应用，对科技进步和产业发展具有重要意义。

三、薄膜的研究领域与应用

1.电子领域：薄膜广泛应用于集成电路、存储器、传感器等电子器件，提高了器件的性能和可靠性。

2.光电子领域：薄膜在太阳能电池、光电器件、光催化等领域具有重要作用，推动了光电子技术的发展。

3.能源领域：薄膜在锂电池、燃料电池、超级电容器等能源存储和转换器件中发挥关键作用，提高了能源利用效率。

4.生物医学领域：薄膜在生物传感器、药物载体、生物兼容性材料等方面具有广泛应用，为生物医学研究提供了新方法和新手段。

5.环境保护领域：薄膜在气体传感器、空气净化、水处理等方面具有重要作用，有助于改善环境质量。

6.航空航天领域：薄膜在航空航天器的热防护、光学系统、电子设备等方面具有关键作用，提高了航空航天器的性能和可靠性。

7.建筑领域：薄膜在建筑玻璃、节能材料、自清洁表面等方面具有广泛应用，提高了建筑物的舒适性和节能性能。

第二章真空

一、真空的基本概念

1.定义：真空是指气体分子数量较少，气体分子之间的距离较大的空间状态。在真空中，气体分子之间的碰撞很少，因此气体的压力很低。

2.真空度：真空度是指真空的压力低于大气压的程度。通常用压力的单位托（Torr）或者帕斯卡（Pa）来表示。

二、稀薄气体的基本性质

1.分子自由程：分子自由程是指气体分子在真空中的平均自由运动距离。在稀薄气体中，分子自由程较大，分子之间的碰撞较少。

2.平均自由时间：平均自由时间是指气体分子在真空中的平均自由运动时间。在稀薄气体中，平均自由时间较长。

3.碰撞频率：碰撞频率是指气体分子在单位时间内与其他分子碰撞的次数。在稀薄气体中，碰撞频率较低。

4.稀薄气体的输运性质：在稀薄气体中，气体的粘度、热导率等输运性质与分子自由程和平均自由时间有关。

三、真空的获得

1.机械泵：机械泵是一种通过机械运动将气体从容器中抽出的设备。常见的机械泵有旋片泵、罗茨泵等。

2.分子泵：分子泵是一种利用分子流在高速旋转的叶片上撞击，将气体分子从容器中抽出的设备。分子泵可以获得较高的真空度。

3.扩散泵：扩散泵是一种利用气体分子在高速蒸气流中的扩散作用，将气体分子从容器中抽出的设备。扩散泵可以获得更高的真空度。

4.真空泵的维护与操作：在使用真空泵时，需要注意泵的维护和操作，以确保泵的正常运行和真空度的稳定。

四、真空的测量

1.真空计：真空计是一种用来测量真空度的仪器。常见的真空计有机械式真空计、热导式真空计、电离式真空计等。

2.真空计的校准与校验：为了确保真空计的准确性和可靠性，需要定期对真空计进行校准和校验。

3.真空度的测量与控制：在实验中，需要根据需求选择合适的真空计，并控制真空度以满足实验要求。

第三章蒸发

一、蒸发的基本概念

1.定义：蒸发是指在真空或低压环境中，固体材料受热后，其表面的原子或分子获得足够的能量从固态转变为气态，并随后在冷却表面上沉积形成薄膜的过程。

2.蒸发原理：蒸发过程中，固体材料的表面原子或分子吸收热量，能量增加，当其动能超过表面束缚能时，原子或分子脱离固体表面，进入气相。

3.蒸发速率：蒸发速率是指单位时间内从固体表面蒸发出的材料质量。蒸发速率受温度、材料性质和环境压力等因素的影响。

二、蒸发的膜厚分布

1.膜厚分布：在蒸发过程中，蒸发材料在沉积表面上形成的薄膜厚度可能不均匀，这种厚度的不均匀性称为膜厚分布。

2.影响因素：膜厚分布受蒸发源与沉积表面之间的距离、蒸发源的温度、蒸发速率、沉积室的压力等因素的影响。

3.控制方法：为了获得均匀的膜厚分布，可以采用旋转镀膜、倾斜镀膜、掩膜技