卡尺校验方法.ppt

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2024-09-02 发布于广西
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Page1of1WIT测量面的外表粗糙度，要求Ra0.2u，与0.2的粗糙度样块进行比较CaplierCalibrationWorkingInstruction文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011

CaplierCalibrationWorkingInstruction

测量面的平面度：测量时﹐把平晶放在被测外表上﹐且与被测外表形成一个很小的楔角??﹐以单色光源照射时会产生干预条纹。干预条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测外表﹐且平晶与被测外表间的间隙很小﹐那么由平晶测量面P反射的光线与被测外表反射的光线在测量面P发生干预而出现明或暗的干预条纹。假设在白光下﹐那么出现彩色干预条纹。如干预条纹平直﹐相互平行﹐且分布均匀﹐那么表示被测外表的平面度很好﹔如干预条纹弯曲﹐那么表示平面度不好。其误差值为﹐式中为两干预条纹间距离﹐为干预条纹的弯曲值﹐为光波波长﹐白光波长一般以0.6微米计算。文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011

200mm卡尺第一个受检点是51.2mm,公差是±0.02,300mm卡尺第一个受检点是101.2mm,公差是±0.02CaplierCalibrationWorkingInstruction文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011

CaplierCalibrationWorkingInstruction200mm卡尺第二个受检点是121.5mm,公差是±0.02；300mm卡尺第二个受检点是201.2mm,公差是±0.04文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011

200mm卡尺第三个受检点是191.8mm,公差是±0.03；300mm卡尺第三个受检点是291.8mm,公差是±0.04CaplierCalibrationWorkingInstruction文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011

CaplierCalibrationWorkingInstruction

深度示值：公差是±0.02文件标号(DocumentNo.):SHCH1104文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011