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磁控溅射硅靶材及邦定后硅靶材.pdfVIP

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  • 2024-09-03 发布于上海
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磁控溅射硅靶材及邦定后硅靶材.pdf

    ICS号

    中国标准文献分类号

    团体标准

    T/CAS×××—201X

    磁控溅射硅靶材及邦定后硅靶材

    Magnetronsputteringsilicontargetandpostbond

    silicontarget

    (征求意见稿)

    201x-xx-xx发布201x-xx-xx实施

    中国标准化协会发布

    T/CAS×××—201X

    目次

    目次I

    前言III

    1范围1

    2规范性引用文件1

    3术语和定义2

    4原料2

    4.1靶材材

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