显示面板用缓冲氧化物刻蚀液.pdfVIP

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报告中,给出了一个关于显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的征求意见稿,并提供了基本的信息,包括使用范围术语和定义缩略语分类要求检验方法检验规则以及标志包装运输贮存和安全等内容此外,还指出了标准的主要起草单位参与起草单位主要起草人和参加起草单位以及主要起草人参与起草的具体成员最后,还强调了标准主要起草人蒋哲男邢攸美高立江胡涛陈东良胡阳刘伟鑫闫广学周淑飞张振洋梁龙飞彭澳徐森彪施珂李盈盈洪明卫季文涛王小栋李林佳周利超陈海刚等人的名字和贡献

ICS31.030

L90

团体标准

T/CEMIA—XXX-

显示面板用缓冲氧化物刻蚀液

Bufferedoxideetchantfordisplaypanels

(征求意见稿)

(本稿完成日期:2021年12月20日)

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国电子材料行业协会发布

T/CEMIAXXX-XXXX

前言

本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。

本标准主要起草单位:杭州格林达电子材料股份有限公司。

本标准参与起草单位:成都京东方光电科技有限公司、迈奇化学股份有限公司、英格尔检测技术服

务(上海)有限公司。

本标准主要起草人:蒋哲男、邢攸美、高立江、胡涛、陈东良、胡阳、刘伟鑫、闫广学、周淑飞、

张振洋、梁龙飞、彭澳、徐森彪、施珂、李盈盈、洪明卫、季文涛、王小栋、李林佳、周利超、陈海刚。

1

T/CEMIAXXX-XXXX

显示面板用缓冲氧化物刻蚀液

1范围

本标准规定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验

规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。

本标准适用于由氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液和表面活性剂混配而成的缓冲氧化物刻蚀液,应用于

显示面板制造中氧化物层的刻蚀和清洗过程。

显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的基本信息参见附录A。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T5549-2010表面活性剂用拉起液膜法测定表面张力

GB/T6678-2003化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮

GB/T11446.1电子级水

GB15258化学品安全标签编写规定

GB15603常用化学危险品贮存通则

GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则

GB50073-2013洁净厂房设计规范

SJ/T11507-2015集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T11638电子化学品中颗粒的测试方法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

2

T/CEMIAXXX-XXXX

4缩略语

下列缩略语适用于本文件。

BOE刻蚀液:缓冲氧化物刻蚀液。

PFA:四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物,又称过氟烷基化物,可溶性聚四氟乙烯。

5分类

显示面板用BOE刻蚀液根据显示面板客

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