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ICS31.030
L90
团体标准
T/CEMIA—XXX-
显示面板用缓冲氧化物刻蚀液
Bufferedoxideetchantfordisplaypanels
(征求意见稿)
(本稿完成日期:2021年12月20日)
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国电子材料行业协会发布
T/CEMIAXXX-XXXX
前言
本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。
本标准主要起草单位:杭州格林达电子材料股份有限公司。
本标准参与起草单位:成都京东方光电科技有限公司、迈奇化学股份有限公司、英格尔检测技术服
务(上海)有限公司。
本标准主要起草人:蒋哲男、邢攸美、高立江、胡涛、陈东良、胡阳、刘伟鑫、闫广学、周淑飞、
张振洋、梁龙飞、彭澳、徐森彪、施珂、李盈盈、洪明卫、季文涛、王小栋、李林佳、周利超、陈海刚。
1
T/CEMIAXXX-XXXX
显示面板用缓冲氧化物刻蚀液
1范围
本标准规定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验
规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于由氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液和表面活性剂混配而成的缓冲氧化物刻蚀液,应用于
显示面板制造中氧化物层的刻蚀和清洗过程。
显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的基本信息参见附录A。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T5549-2010表面活性剂用拉起液膜法测定表面张力
GB/T6678-2003化工产品采样总则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮
GB/T11446.1电子级水
GB15258化学品安全标签编写规定
GB15603常用化学危险品贮存通则
GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则
GB50073-2013洁净厂房设计规范
SJ/T11507-2015集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T11638电子化学品中颗粒的测试方法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
2
T/CEMIAXXX-XXXX
4缩略语
下列缩略语适用于本文件。
BOE刻蚀液:缓冲氧化物刻蚀液。
PFA:四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物,又称过氟烷基化物,可溶性聚四氟乙烯。
5分类
显示面板用BOE刻蚀液根据显示面板客
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