单晶炉技术说明书.pdf

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1.用途:

本设备为软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加

热器将硅半导体材料溶化,用直拉法生长单晶的设备。9001型炉采用18热场,投

料量60Kg,可拉制6或8的单晶。(1201型炉,采用18”或20”热场,投料量

最大120Kg,,可拉制6~10的单晶。)

2.设备的工作原理概述:

本设备采用软籽晶轴提升机构,显著降低了单晶炉的高度,因而在一般厂房

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