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过渡族金属掺杂ZnO薄膜的制备与铁磁性能的研究

过渡族金属掺杂ZnO薄膜的制备与铁磁性能的研究

摘要：

本文通过热蒸发法在氧气气氛下制备了过渡族金属掺杂的ZnO薄膜，

并进行了结构、形貌和磁性能的表征。结果表明，不同过渡族金属掺杂

的ZnO薄膜具有不同的结构和形貌特征，同时具有不同的磁性能。以Co

掺杂的ZnO薄膜为例，其具备了明显的铁磁性，并呈现出与其结构和形

貌变化相关的磁性响应特征。本研究对于理解过渡族金属掺杂ZnO材料

的磁性行为及其应用具有重要的意义。

关键词：过渡族金属掺杂，ZnO薄膜，磁性能，热蒸发法，结构和

形貌分析

引言：

掺杂是通过在晶体中引入一些其他原子来改变其物理和化学性质的

过程。过渡族金属是一类容易掺杂的元素，其掺杂可以引起材料的铁磁

性。ZnO作为一种具有潜在应用价值的半导体，其过渡族金属掺杂的磁

性性质也受到了广泛的关注。在本研究中，我们利用热蒸发法制备了不

同过渡族金属掺杂的ZnO薄膜，并对其进行了结构、形貌和磁性能的表

征分析。此外，我们还对Co掺杂的ZnO薄膜的磁性响应特征做了详细

的探究。

实验部分：

制备方法：使用热蒸发法在氧气气氛下生长不同掺杂浓度的ZnO薄

膜。

表征方法：使用X射线衍射仪、原子力显微镜、超导量子干涉磁强

计等对样品进行结构、形貌和磁性能的表征。

结果与分析：

图1为X射线衍射分析所得的不同掺杂浓度的ZnO薄膜的结构图。

可以看出，随着掺杂浓度的增加，ZnO材料的结晶性逐渐降低，掺杂离

子与ZnO内部晶格的杂化程度越来越高。这与过渡族金属的掺杂机理有

一定关系。

图2为原子力显微镜的扫描图，可以看出，不同掺杂浓度下的ZnO

薄膜具有不同的表面形貌。当掺杂浓度较低时，薄膜表面展现出光滑、

均匀的形貌，而当掺杂浓度增加时，薄膜表面则开始出现许多明显的结

构性缺陷。这也与掺杂离子与ZnO内部晶格的杂化程度有一定关系。

图3为超导量子干涉磁强计测试结果。可以看出，高掺杂浓度的

ZnO薄膜具备了明显的铁磁性，而不同掺杂浓度的ZnO薄膜具有不同的

磁性响应特征。以Co掺杂的ZnO薄膜为例，其铁磁性与其成分浓度和

结构形貌变化相关。

结论：

本研究通过热蒸发法制备了不同掺杂浓度的过渡族金属掺杂的ZnO

薄膜，并进行了结构、形貌和磁性能的表征。结果表明不同掺杂浓度和

成分的ZnO薄膜具有不同的结构和形貌特征，并具有不同的磁性响应特

征。其中Co掺杂的ZnO薄膜具有明显的铁磁性，并呈现出与其结构和

形貌变化相关的磁性响应特征。本研究对于理解过渡族金属掺杂ZnO材

料的磁性行为及其应用具有重要的意义。