超纯水系统工艺及其施工.pdfVIP

超纯水系统工艺及其施工

超纯水系统工艺及其施工一、超纯水系统总体介绍随着电

子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也

越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材

料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因

素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的

含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。

超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：

超纯水制造区（CUB部分）；

超纯水抛光循环区（FAB部分）；

超纯水输送管网（FAB各使用区）。

其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯

水处理、超纯水处理三个部分。

预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤

前还增设反应槽、气浮池）；

一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、

保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；

超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、

混床（MB）及终端过滤器。

第1页共6页

但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水

管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循

环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备

（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水

中的杂质。

二、超纯水系统中各阶段常用管材在超纯水系统中管材的

选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合

理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、

SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304

管。设备面管一般采用内衬胶钢管（SGPRL），对于水泵等产生

震动的动力设备周边采用SUS304管；

在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵

与反渗透（RO）之间，由于压力高，所以须采用SCH80的

SUS304管及耐压2.0Mpa级法兰。由于RO对水温有一定要求，

因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应采用SUS304管；

在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC

管；

抛光循环区主流程一般采用SUS316管（焊接连接，并要求

双面成型）和PVDF管。超纯水回收管道采用CPVC管。

在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管；

第2页共6页

在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC

管；

纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系

统所用氮气管道采用SUS316管；

压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采

用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤

器。

三、超纯水系统施工超纯水系统水站部分施工难度最大，

其主要包括三个部分：设备的搬入及安装，共用管架的制作安

装以及管道的安装。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊

装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮

冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：

1、架台与土建结构连接处一定要坚固，最好采用预埋铁

板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不

应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固

定在楼板上；

2、整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由

于应力不均匀引起管道弯曲破损。

水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热

水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大

部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。开工初期两部分

第3页共6页

可以同时进行施工。当共架直管段与设备本体配管完成之后，

应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，最终与共架管

道相连形成封闭的管路系统。

超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区

别，它除了要保证管道系统的密闭性外，还有更加重要的一

点，就是要在施工过程中一定要保证