基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的特性研究 .pdf

2024年4月机床与液压Apr.2024

第52卷第7期MACHINETOOLHYDRAULICSVol.52No.7

DOI：10.3969/j.issn.1001-3881.2024.07.019

献引用：于贺春，寇新俊,侯玮杰，等.基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的特性研究[J].机床与液压,2024,52

(7)：123-128.

Citeas：YUHechun,KOUXinjun,HOUWeijie,etal.Studyonthecharacteristicsofmicro-holethrottlingaerostaticbearingsbasedon

differentprocessingmethods[J].MachineToolHydraulics,2024,52(7):123-128.

基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的特性研究

于贺春1,寇新俊＞2,侯玮杰2,3,刘海腾2,3,李广平2,3,张国庆】，王博】

(1.中原工学院机电学院，河南郑州450007；2.天津航天机电设备研究所，天津300301；

3.天津市微低重力环境模拟技术重点实验室，天津300301)

摘要：随着超精密加工技术和地面微低重力仿真的发展，相关产业对空气静压轴承的性能要求越来越高。由于传统的

孔式节流器其结构特点不能完全满足实际使用的需要，节流孔直径与气膜间隙同一数量级的微孔节流空气静压轴承因其良

好的刚度和承载特性，越来越受到关注。但在微孔节流器的发展过程中，微孔的加工工艺却限制了其推广应用。针对目前

常用的三类微孔加工工艺，进行了理论仿真研究，通过建立不同加工工艺轴承仿真模型，运用双向流固耦合仿真方法，对

比分析了基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的动静态特性。研究结果表明：锥孔类轴承承载性能优于其他两类，

但耗气量大且在小间隙时刚度较差；薄壁直孔类轴承承载性能稍逊，但在大间隙下轴承刚度较佳；嵌套类轴承承载性能较

差，但在小间隙下轴承刚度较大且耗气量较低。

关键词：空气静压轴承；超精密加工；微低重力仿真；微孔节流；静动态特性

中图分类号：TH133.36

StudyontheCharacteristicsofMicro-holeThrottlingAerostaticBearings

BasedonDifferentProcessingMethods

YUHehun1,KOUXinjun^2,HOUWeijie23,LIUHaiteng23,LIGuangping23,ZHANGGuoqing1,WANGWenbo1

(1.ShoolofMehanialEletrialEngineering,ZhongyuanUniversityofTehnology,ZhengzhouHenan

450007,China；2.TianjinInstituteofAerospaeMehanialandEletrialEquipment,Tianjin300301,China；

3.TianjinKeyLaboratoryofMirogravityEnvironmentSimulationTehnology,Tianjin300301,China)

Abstract:Withthedevelopmentofultra-precisionmachiningtechnologyandgroundmicro-lowgravitysimulation,theperformance

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