表面能对氧化铪基铁电薄膜铁电性的影响机理研究.doc

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表面能对氧化铪基铁电薄膜铁电性的影响机理研究

目录

TOC\o1-2\h\u摘要 7

Abstract 7

第1章绪论 8

1.1氧化铪基铁电薄膜及其存储器的应用 8

1.2氧化铪基铁电薄膜及其存储器的问题 10

1.3氧化铪基铁电薄膜的研究现状 11

1.4相场理论和有限元方法介绍 12

1.5本文的选题依据和研究内容 13

第2章考虑表面能影响氧化铪基铁电薄膜相场理论模型 13

2.1氧化铪基铁电薄膜相场理论模型构建 13

2.2考虑表面能影响的薄膜相场理论模型构建 15

2.3模型验证 18

第3章

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