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双层光栅MOEMS陀螺设计及工艺关键技术研究.pdf

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    摘要

    陀螺是测量物体旋转运动速度和旋转角的传感器，是多类装备实现姿态测量、

    惯性导航和运动控制等功能的核心器件之一。在小型化方面，微机电系统(Micro

    ElectroMechanicalSystems,MEMS)的陀螺具有巨大的优势，是当今惯性技术领域

    研究的热点之一。许多研究学者都在致力于将MEMS陀螺的性能提升到导航级。

    一旦MEMS陀螺突破当前的精度瓶颈，满足作为导航级精度检测的要求。将会

    使大部分惯性导航系统兼备性能、体积、可靠性、功耗和制造成本的综合优势，

    对工业仪表、电子设

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