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摘要
作为目前科技和工业中不可或缺的一部分,低g值加速度传感器在各个领域得到了
广泛应用,包括汽车驾驶、医疗设备、工业生产与航空航天等。而面对军事领域中如爆
炸、冲击与导弹飞行中的高g值加速度测量,上述低g值加速度传感器已无法满足其需
求,因此高g值加速度传感器的研究具有重要的应用价值。当前大多数高g值加速度传
感器的研究都集中在提高加速度传感器量程方面,而在高g值加速度传感器中,普遍存
在着传感器灵敏度与固有频率相互制约的关系,目前针对这一问题的研究较少。
通过对国内外高g值
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