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基于光栅泰伯效应的三轴MOEMS加速度计设计与测试研究.pdf

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    摘要

    加速度计在惯导系统中扮演者不可或缺的重要角色，在汽车安全、航向指

    示、姿态参考等领域有非常广泛的应用。随着微电子技术的发展，MEMS(微机

    电系统)加速度计因其重量轻、成本低、体积小且集成度高等优势走进人们视野。

    MEMS加速度计的检测方式主要包括电容式、压电式和压阻式，这些检测方式

    都有其不可避免的问题。为了满足高性能加速度计的需求，MOEMS(微光机电

    系统)加速度计应运而生，它结合了光学检测和传统MEMS加速度计的优点，在

    惯性导航、地球物理和其他需要高灵敏度和高精度的领域显示出

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