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高过载下MEMS环形陀螺响应、失效与性能优化研究.pdf

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    摘要

    MEMS陀螺因其微型化、高可靠性、低功耗、低成本和批量生产等优势而有

    望逐渐取代传统陀螺仪。但在钻井、航空和军事等领域的实际应用过程中，其不可

    避免的在恶劣环境下工作，受到来自环境的高过载作用（加速度剧烈波动）。

    MEMS环形陀螺以其结构的高度对称性和模态的可分离性而被认为是最具有抗冲

    击性能的MEMS陀螺之一。然而，当受到严重的冲击时，MEMS环形陀螺对过载

    的动力学响应存在非线性和模态耦合现象，输出结果将会远远偏离实际值，抗过载

    性能退化。因此本文针对MEMS

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