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半导体设备自动化与智能控制考核试卷

考生姓名：________________答题日期：____年__月__日得分：_____________判卷人：

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一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只

有一项是符合题目要求的）

1.半导体设备自动化主要依赖于以下哪一项技术？（）

A.机器人技术

B.人工智能技术

C.传感器技术

D.区块链技术

2.以下哪一种控制方式不属于智能控制？（）

A.模糊控制

B.神经网络控制

C.顺序控制

D.预测控制

3.半导体生产中，用于实现自动化搬运的设备是？（）

A.光刻机

B.载带式搬运机器人

C.刻蚀机

D.CVD/PVD设备

4.在智能控制系统中，哪个环节负责处理和分析数据？（）

A.传感器

B.控制器

C.执行器

D.数据处理中心

5.以下哪一项不是自动化半导体设备的优势？（）

A.提高生产效率

B.降低生产成本

C.减少人工干预

D.提高产品不良率

6.以下哪种传感器在半导体生产过程中应用广泛？（）

A.光电传感器

B.压力传感器

C.温度传感器

D.湿度传感器

7.在智能控制系统中，以下哪种算法常用于模式识别？（）

A.PID算法

B.KNN算法

C.PLC编程

D.逻辑控制

8.以下哪种设备主要用于半导体的表面加工？（）

A.光刻机

B.刻蚀机

C.CVD/PVD设备

D.离子注入机

9.自动化半导体设备的数据分析主要依赖于哪种技术？（）

A.大数据分析

B.云计算

C.物联网

D.机器视觉

10.以下哪种控制策略适用于非线性、时变的系统？（）

A.模糊控制

B.PID控制

C.逻辑控制

D.顺序控制

11.半导体设备自动化中，以下哪个部件负责执行指令？（）

A.控制器

B.执行器

C.传感器

D.通信接口

12.在半导体制造过程中，哪种设备用于实现精细图形的转移？（）

A.光刻机

B.刻蚀机

C.CVD/PVD设备

D.清洗设备

13.以下哪种技术可用于提高半导体设备的智能控制性能？（）

A.机器学习

B.量子计算

C.区块链

D.虚拟现实

14.在智能控制系统设计中，以下哪个原则最为重要？（）

A.系统稳定性

B.系统准确性

C.系统快速性

D.系统复杂性

15.以下哪种方法常用于半导体设备的故障诊断？（）

A.信号处理

B.机器视觉

C.传感器融合

D.人工智能

16.在半导体制造过程中，以下哪个环节对环境洁净度要求最高？（）

A.光刻

B.刻蚀

C.CVD/PVD

D.封装

17.以下哪种材料在半导体制造过程中用于导电层沉积？（）

A.硅

B.砷化镓

C.铝

D.硼

18.在智能控制系统中，以下哪种模型可以用于非线性系统的建模？（）

A.线性模型

B.非线性模型

C.神经网络模型

D.线性回归模型

19.以下哪种方法可用于提高半导体设备的运行效率？（）

A.优化生产流程

B.增加设备数量

C.提高员工工资

D.降低设备维护

20.以下哪种技术不属于智能制造技术？（)

A.3D打印

B.机器人技术

C.物联网

D.石墨烯材料

（以下为答题纸，请将答案填写在括号内）

1.（）2.（）3.（）4.（）5.（）

6.（）7.（）8.（）9.（）10.（）

11.（）12.（）13.（）14.（）15.（）

16.（）17.（）18.（）19.（）20.（）

二、多选题（本题共20小题，每小题1.5分，共30分，在每小题给出的四个选项中，至少

有一项是符合题目要求的）

1.以下哪些是半导体设备自动化的主要目标？（）

A.提高生产效率

B.减少人工干预

C.降低生产成本

D.提高产品良率

2.智能控制系统的核心组成部分包括哪些？（）

A.传感器

B.控制器

C.执行器

D.数据分析中心

3.以下哪些