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高纯四氟化硅的制备技术.docx

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    1.1四氟化硅概述

    1.1.1四氟化硅的理化性质

    四氟化硅是一种无机物，分子结构是Si原子以sp3杂化轨道形成σ键，分子形状为正四面体形，分子量为

    104.06，密度是1.590。吸湿性非常强，但如果完全无湿气时，并不腐蚀玻璃、汞、活塞上的润滑脂、橡胶等。加压下变成液体，可以利用这一特点进行分馏提纯。

    表1-1SiF4的物理性质

    参数

    SiF4

    相对分子质量

    104.06

    熔点/℃

    -86.8

    沸点（101.325MPa）/℃

    -94.8

    气体密度（101.325KPa，21.1℃）/kg·m-3

    4.310

    气体相对密度（101.325KPa，2

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