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耐磨球阀在多晶硅行业中的应用

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27-Jun-01,Slide2

1多晶硅工艺流程简介

多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料

不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质

量指标、用途、产品检测方法、过程平安等方面也存在差异，各有技术特点和技术

秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷

法和流化床法。改进西门子法〔图1〕是目前