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第１５卷第６期光学精密工程Ｖｏ１．１５Ｎｏ．６

２００７年６月ＯｐｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＪｕｎ２００７

文章编号１００４－９２４Ｘ（２００７）０６—０８６６—０７

基于ＭＥＭＳ工艺的高能量密度微电磁驱动器

张涛，吴一辉，黎海文，刘波ｈ，张平，王淑荣

（１．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，

吉林长春１３００３３ｄ．中国科学院研究生院，北京１０００３９）

摘要：提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械（ＭＥＭＳ）Ｉ艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图

形，接着沉积种子层铜（ｃｕ），然后对种子层进行整体ｃｕ的电铸；当种子层生长到２０／ｘｍ左右时，剥离硅片表面的镀层并用光刻

胶保护磁芯位置的镀层；再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸；最后保护制作好的线圈镀层，电铸ＮｉＦｅ合金材料。在１０ｍｍＸ

１０ｍｍＸ０．３８ｍｍ的硅片上，制作出线圈匝数２２×２（铜线截面积６０／ｘｍ×６０／ｘｍ、总长度达１１６４ｍｍ）、ＮｉＦｅ合金磁芯尺寸为３

ｍｎｉＸ３ｍｎｉＸ０．２ｍｍ的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验：通入０．３Ａ的正弦电流

时，微驱动器产生约５０ｍＮ的电磁力。实验结果表明：这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下，比同类其他微电磁驱动器具

有更高的能量密度，能产生更大的电磁驱动力。

关键词：ＭＥＭＳ；微型电磁驱动器；高能量密度；多匝双层平面微线圈；厚ＮｉＦｅ合金镀层

中图分类号：ＴＭ５７；ＴＰ２７１．４文献标识码：Ａ

ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃａｃｔｕａｔｏｒｔｈｈｉｇＩｌ

ｅｎｅｒｇｙｄｅｎｓｉｔｙｂａｓｅｄｏｎＭＥＭＳｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ

ＺＨＡＮＧＴａｏ，ＷＵＹｉ－ｈｕｉ，ＬＩＨａｌ－ｗｅｎ，ＬＩＵ１３ｏ“，ＺＨＡＮＧＰｉｎｇＩ，ＷＡＮＧＳｈｕ－ｒｏｎｇ￣

（１．ＮａｔｉｏｎａｌＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄ

Ｐｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ；

２．ＧｒａｄｕａｔｅＳｃｈｏｏｌｏｆｔｈｅＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，ＢｅＯｉｎｇ１０００３９，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆ０ｒｈｉｇｈｅｎｅｒｙｇｄｅｎｓｉｔｙｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃａｃｔｕａｔｏｒｂａｓｅｄｏｎＭｉｃｒｏＥｌｅｃ—

ｔｒｏｎＭｅｃｈａｎｉｃｓＳｙｓｔｅｍ（ＭＥＭＳ）ｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．ＴｈｅｍａｉｎｓｔｅｐｓｏｎＭＥＭＳｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｒｅａｓｆｏｌｌｏｗｓ：Ｆｉｒｓｔｌｙ，

ｅｔｃｈｉｎｇｐｌａｔｉｎｇｔｒｅｎｃｈｅｓｏｆｍｕｌｔ～ｉｔｕｒｎｄｏｕｂｌｅｐｌａｎａｒｒｎｉｃｒｏｃｏｉｌｓａｎｄｐｅｒｍａｌｌｏｙ（ＮＦｅ）ｃｏｒｅｉｎｔｏｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｐｒｉｏｒ

ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ａｓｅｅｄｌａｙｅｒｏｆｃｏｐｐｅｒｍｕｓｔｉｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎｔｈｅｗａｆｅｒ；ｓｅｃｏｎｄｌｙ，ｗｈｅｎｔｈｅｔｈｉｃｋｏｆｓｅｅｄｌａｙ—

ｅｒｒｅａｃｈｅｓｔｏａｂｏｕ