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MEMS带通滤波器的设计研究的开题报告

一、选题背景

随着电子设备不断地微型化和集成化，对于尺寸较小，能够完成多

个任务的微型机械系统（MEMS）的需求越来越大。MEMS在各种应用场

景中都有广泛的应用，其中包括无线通信、惯性测量、声学传感等。在

这些应用场景中，信号的处理和滤波是非常重要的。特别是在无线通信

领域中，需要高性能的滤波器来减少信号失真和抑制信号干扰。MEMS技

术可以提供在微型空间中集成高品质滤波器的可能性。

二、研究内容

MEMS带通滤波器是一种基于MEMS技术实现的能够滤除一定频率

范围内信号的装置，可以用于无线通信、传感器等场景中。本研究的主

要内容包括：

1.掌握MEMS工艺流程，制备出MEMS带通滤波器的样品。

2.了解带通滤波器的基本工作原理，设计出MEMS带通滤波器的电

路结构。

3.对设计出的MEMS带通滤波器进行模拟和优化，得到最佳的工作

参数。

4.制备出具有优化参数的MEMS带通滤波器样品，测试其性能。

5.与其他滤波器进行比较，验证MEMS带通滤波器的性能和优势。

三、预期成果

本研究的预期成果包括：

1.成功制备出具有优化参数的MEMS带通滤波器样品。

2.得到最佳的工作参数，提高MEMS带通滤波器的性能。

3.验证MEMS带通滤波器的性能和优势，满足应用于无线通信、传

感器等场景中的需求。

四、进度安排

1.第一阶段（1个月）：了解MEMS工艺流程，学习带通滤波器的

基本理论和电路设计。

2.第二阶段（2个月）：设计MEMS带通滤波器的电路结构，进行

模拟和优化。

3.第三阶段（1个月）：制备出具有优化参数的MEMS带通滤波器

样品。

4.第四阶段（2个月）：测试MEMS带通滤波器的性能，并与其他

滤波器进行比较。

5.第五阶段（1个月）：完成论文撰写和答辩准备。

五、参考文献

[1]JohnsonB.E.,andChangW.C.,“MEMSfiltersforradio

frequencyapplications,”ProceedingsoftheIEEE,vol.86,no.8,pp.

1756-1764,1998.

[2]LeongK.M.,andWangY.,“Adesignofdual-modemulti-

bandbulkacousticwavefiltersbasedonhighfrequencyandhigh

overtoneenergytrapping,”IEEEJournalofMicroelectromechanical

Systems,vol.17,no.6,pp.1297-1306,2008.

[3]KimY.G.,WangW.N.,andAktakkaE.E.,“Designand

fabricationofpiezoelectricMEMSfiltersforRFapplications,”IEEE

JournalofMicroelectromechanicalSystems,vol.22,no.5,pp.1215-

1223,2013.