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东北大学第八期《真空技术》培训班
真空获得设备原理
及技术基础
与流体
主讲人:张以忱
真空获得设备原理与技术基础（张以忱）东北大学第八期《真空技术》培训班
真空获得设备原理
及技术基础
与流体
主讲人:张以忱
东北大学第八期
《真空技术》培训系列之
真空技术概况(巴德纯)
真空工程理论基础(张世伟)
干式真空泵原理与技术基础(巴德纯)
口四.真空系统组成与设计基础(刘坤)
口五.真空获得设备原理与技术基础(张以忱)
口六.真空测量技术基础(刘玉岱)
口七.真空镀膜技术基础(张以忱)
口八.质谱原理与真空检漏(刘玉岱)
口九.真空冶金技术基础(王晓冬)
口十.真空与低温技术及设备(徐成海)
VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China
1。液环式真空泵
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东北大学第八期
《真空技术》培训系列之
真空技术概况(巴德纯)
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口九.真空冶金技术基础(王晓冬)
口十.真空与低温技术及设备(徐成海)
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1。液环式真空泵
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11液环泵的工作原理及特点
液环泵是一种粗真空泵,极限压力
单级泵:266~931kPa;
双级泵:0.133~0665kPa
串连大气喷射器:027~067kPa
液环式压缩机,工作压力范围:(1~2)
×105Pa(表压力)
用浓硫酸做工作介质:压力可达6×105Pa
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11.1工作原理
如果以叶轮的上部0°为起
点,那么叶轮在旋转前180°时小
腔的容积由小变大,且与端面上的
吸气口相通,此时气体被吸入,当
吸气终了时小腔则与吸气口隔绝
当叶轮继续旋转时,小腔由大变
小,使气体被压缩;当小腔与排气
口相通时,气体便被排出泵外
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图1-1液环泵工作原理图
A——吸气口
B——排气口
1——叶轮
2——液环
3——橡胶球
4——泵体
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112液环泵的特点
液环泵与其他类型的机械真空泵相比有如下优
点
1)结构简单,制造精度要求不高,容易加
2)结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动
机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,
可以获得大的排气量,占地面积也小;
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3)压缩气体基本是等温的(通常多变压
缩指数n=1.1~1.15),即压缩气体过程,
温度变化很小
4)腔内无金属摩擦表面,无须对泵内进
行润滑,且磨损很小,转动件与固定件间
的间隙可由液体来密封
5)吸气均匀,工作平稳可靠,操作简
单,维修方便。
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液环泵也有其缺点
)功率消耗大,效率低,一般在30%左
右,较好的可达50%。
2)极限压力高,它取决于液体种类;
3)真空度低,这不仅是因为受到结构上的
限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的
限制。用水作工作液,极限压强只能达到
2000~4000Pa。用油作工作液,可达
130Pa。
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