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分子泵简介

分子真空泵

分子泵发展历史分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德（W.Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。——利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。1956年，德国人贝克（W.Becker）发明了涡轮分子泵，以高速旋转的动叶片和静止的定叶片配合来实现抽气，极限压强可达10-9Pa以下。1972年出现了涡轮-牵引复合分子泵，采用螺旋动密封，可直接向大气排气。近年来，空气轴承和磁悬浮轴承的应用，使分子泵作为清洁真空获得设备更加完善。

分子泵分类按转子结构特征：涡轮分子泵牵引分子泵复合分子泵按轴承特性区分：磁悬浮轴承分子泵机械轴承分子泵

涡轮分子泵是靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气，获得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围为1Pa~10-8Pa。先进的泵可以获得10-9Pa的极限压力。泵的转速为10000r/min~50000r/min,这种泵的抽速范围很宽，在九个数量级间具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，但它不能直接