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硅光芯片制造技术研究行业技术趋势分析.docx

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    硅光芯片制造技术研究行业技术趋势分析

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    TOC\o1-3\h\z\u硅光芯片制造技术研究行业技术趋势分析 2

    一、引言 2

    1.1背景介绍 2

    1.2研究意义 3

    1.3发展趋势概述 4

    二、硅光芯片制造技术概述 6

    2.1硅光芯片制造基本概念 6

    2.2主要工艺流程 7

    2.3技术关键点及挑战 8

    三、硅光芯片制造技术的现状分析 10

    3.1国内外研究现状 10

    3.2主要技术成果及进展 11

    3.3存在的问题与不足 13

    四、硅光芯片制造技术研究行业技术趋势分析 1

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