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21卷第3期传感技术学报213

Vol.No.

2008年3月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSMAR.2008

ResearchonBiasTemperatureCompensationforMicromachinedVibratoryGyroscope3

CHENGLong,WANGShourong,YEFu

(SchoolofInstrumentScienceandEngineering,SoutheastUniversity,Nanjing210096,China)

Abstract:Basedonlotsofenvironmentaltemperatureexperimentdataofthemicromachinedvibratorygy2

roscope,abiastemperaturecompensationmodelisestablishedaccordingtotheexperimentdata.Thepre2

castingcompensationisperformedtothenewexperimentaldata,andtheresultsofcompensationshow

thatitsbiasisreducedtoonetenthoftheoriginal.

Keywords:micromachinedvibratorygyroscope;bias;temperaturecompensation

EEACC:2575;7630

硅微机械振动陀螺零偏温度补偿研究3

程龙王寿荣3叶甫

()

东南大学仪器科学与工程学院南京

,210096

摘要:在对某型硅微机械振动陀螺进行大量高低温环境试验的基础上根据试验数据建立了一种零偏温度补偿模型并

,,,

用该模型对新测的试验数据进行了预测补偿。补偿结果表明硅微机械陀螺经该模型补偿后零偏可以减少一个数量级补偿

效果明显。

关键词:

微机械振动陀螺零偏温度补偿

;;

中图分类号文献标识码文章编号222

:V241.554:A2008)03048303

硅微机械陀螺是一类难度较大的微机电系统1

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