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维普资讯
《计量与测试技术）２００６年第３３卷第１ｊ期
硅微机械陀螺的差分电容信号处理技术
ＤｉｆｆｅｒｅｎｔＣａｐａｃｉｔｉｖｅＳｉｇｎａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＭｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｉｌｉｃｏｎＧｙｒｏｓｃｏｐｅ
王晓兰武云
（中国电子科技集团公司第四十九研究所，黑龙江哈尔滨１５０００１）
摘要：本文针对电容式微机械陀螺的接口电路没汁、闭环驱动、微弱信号检测和处理等问题开展研究。在充分满足陀蝤ｊ本身工作需要的甚础上设ｌ
计并实现了它的接口电路。同时进行了初步的实验分析。得到的结果显示它基水完成了驱动陀螺并且解调检测陀螺信号的功能，并且取得了测试
结果。
关键词：微机械陀螺；电存检测；接口电路
微机械陀螺仪是当前研究的热点，微机械陀螺与传驱动部分信号检测
微结构………………～…～
统陀螺相比，具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高及可…
批量生产等优点，具有广泛的应用前景。但现有的技术
条件使得它们只能用于低精度的场合，微机械陀螺采用
集成电路工艺和微细加工技术制造，尺寸微小，驱动和检
测困难，需要应用各种技术提高精度。目前接口电路和
信号处理技术的研究是微机械陀螺研究的重点和难点。
１系统工作原理
振动式陀螺的敏感原理是基于这样一种物理现象，
即转动坐标系中的运动物体会受到与转动速度方向垂直
的惯性力的作用，这一惯性力称为哥里奥利力。哥氏力
与转动角速度成正比，检测哥氏力，就可得到转动系统的解凋调糍：：
●一一一一一一一－－一－一一－－－－一一一一－一一．．．．．．．．．．．．．
转动角速度。微机械振动陀螺可视为由两个以正弦波振图２陀螺内部工作的结构
动的谐振器组成，如图１所示。由图２可见，微机械陀螺接口电路可分为三部分：
（ａ）驱动部分：包括驱动检测、自动增益控制（ＡＧＣ）电
路，相移电路，功放及陀螺驱动端，这部分不仅为陀螺提
一供驱动信号，而且为检测电路提供载波信号；（ｂ）信号检
驱测：包括电容一电压转换电路，放大和带通处理电路；
（Ｃ）解调调整：通过二次解调，滤波和零位、灵敏度调整。
最后输出角速率信号。
图微机械１振动陀螺模型２电容式陀螺信号处理方法
在以质量块平动振动为基础的微机械陀螺中，陀螺在ＭＥＭＳ加工工艺的条件下，微加速度计的结构尺
被驱动沿Ｘ轴方向谐振，Ｘ轴被认为是驱动方向；衬底寸在微米量级甚至是纳米量级，所以检测电容的中心电
绕ｚ轴旋转，在Ｙ方向引起谐振哥氏力，Ｙ轴被认为是容量很小，通常在ｐＦ量级，而产生的电
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