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氧化铟锡透明电极光学特性研究

摘要

ITO透明导电薄膜材料具有优良的光电特性，因此近年来得以迅速发展，特

别是在薄膜晶体管TFT制造、平板液晶显示LCD、太阳能电池透明电极等方面

获得广泛应用并形成一定的市场规模。此次毕业设计针对ITO薄膜的光电性质

进行探究。

本文对于ITO透明导电薄膜的制备刻蚀和光电性能进行了研究。分析了ITO

在导电薄膜中所处于的地位并展望了其未来的发展方向；针对ITO薄膜的透明

导电原理进行分析阐述；通过光刻方法制备了不同图案的ITO透明电极，并通

过实验测试了ITO电极的电阻率和光谱透射率；以及测定ITO电阻率和光谱透

射率对其性能进行探究分析。

关键词：ITO；透明导电薄膜；光电特性；光刻刻蚀；光谱透射曲线

ABSTRACT

ITOtransparentconductivethinfilmshaveanexcellentopticalandelectrical

properties.That’swhyitdevelopedrapidlyinrecentyears,particularlywaswidely

liquidcrystaldisplayLCD,solarcelltransparentelectrode,etc.Andithasacertain

optoelectronicpropertiesofITOfilms.

Thisarticleisonthestudyofetchingandelectro-opticalpropertiesofITO

ontheITOandthemeasurementofresistivityandspectraltransmittanceofITO

transparentconductivefilm.

Keywords:ITO;transparentconductivefilm;opticalandelectricalproperties;

lithographicetching;spectraltransmissioncurve

目录

1绪论1

1.1研究背景1

1.2国内外研究现状2

1.3研究内容、思路及技术支持3

2ITO透明导电薄膜的原理4

2.1ITO薄膜的光电原理4

2.2ITO透明导电膜的特性5

2.2.1ITO透明导电膜的基础特性5

2.2.2ITO透明导电薄膜的两种类型及相关参数5

2.3ITO薄膜的制备方法5

2.3.1磁控溅射沉积6

2.3.2各种制备方法比较8

3ITO透明导电薄膜刻蚀实验9

3.1实验方案设计9

3.2实验器材11

3.3ITO薄膜光刻实验11

3.3.1ITO薄膜的准备12

3.3.2甩光刻胶12

3.3.3前烘13

3.3.4曝光与显影13

3.3.5后烘15

3.3.6检查光刻结果15

3.4ITO薄膜化学蚀刻实验16

3.4.1配置刻蚀液16

3.4.2化学刻蚀图案17

4ITO透明导电薄膜光电性能研究18

4.1实验方案设计18

4.2实验器材18

4.