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振动与冲击

第２７卷第５期ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＶＩＢＲＡｎＯＮＡＮＤＳＨ０ＣＫ

微型旋转机械轴承研究进展

张文明，孟光，陈迪

（１．上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室，上海２００２４０；２．上海交通大学微纳科学研究院，上海２０００３０）

摘要：对微机电系统（ＭＥＭｓ）旋转机械微轴承，尤其是微型干摩擦、电磁和气体轴承的研究现状进行评述，介绍

微型干摩擦轴承、微型电磁轴承及微型气体轴承的各种润滑特性，主要分析微型气体轴承的设计、加工制造及动力润滑特

性问题，分别探讨微尺度效应和滑流效应对微型气体轴承润滑特性的影响，并对相关领域的研究进展进行展望。

关键词：微机电系统（ＭＥＭＳ）；干摩擦轴承；电磁轴承；气体轴承；微尺度效应；滑流效应

中图分类号：ＴＨ１１７．２。ＴＨ１３３文献标识码：Ａ

微机电系统（ＭＥＭＳ）是科技发展的前沿，在生物、的摩擦系数；Ｌｅｇｔｅｎｂｅｒｇ等提出采用销轴承或球轴承

医学、电子及航空航天工业等领域具有广泛的应用价等干摩擦轴承，减少摆动微电机定转子间的摩擦磨损，

值’。ＭＥＭＳ技术的巨大成功在旋转机械领域引发提高驱动转矩；Ｗｉｌｌｉａｍｓ＿分析８了三种不同的枢轴干摩

了一场微小型化革命，以加工微／纳米旋转机械结构和擦轴承（即平端圆柱型、圆锥型和半球型）的摩擦磨损

系统为目的的技术也得到相应发展，促进了微电机、动特性；Ｓａｒｒｏｓ等对圆柱型和圆锥型静电摆动微电机所

力ＭＥＭＳ等微型旋转机械的长足发展，一直成为采用的枢轴轴承特性进行了研究，发现枢轴轴承长度

ＭＥＭＳ研究中的热点。是影响微电机的关键参数，轴承越长，定转子表面平行

相对于传统机械而言，微尺度效应作用下微型旋度越高，倾斜间隙越小，输出转矩越大。另外，采用氮

转机械的摩擦磨损问题显得十分突出’。因此，随着化物涂层，可减小转子和固定轴之间的摩擦磨损¨。

对高性能、低能耗及长寿命ＭＥＭＳ旋转机械产品的需在摆动微电机设计中采用中心销轴承和法兰盘轴承可

求，最大限度地降低摩擦磨损乃至实现零摩擦磨损，是减少摩擦磨损作用的影响，且法兰盘轴承的效果比中

保证微型旋转机械器件功能和使用寿命的关键。为了心销轴承要好¨。

得到较高的能量密度输出，微型旋转机械必须具备非张文明等¨建立了静电微电机转子与轴承之间接

常高的转速，由此会带来微型旋转机械的轴承润滑问触的数学模型，分析了轴承在微转子干摩擦作用下接

题。目前，已有许多研究人员相继提出干摩擦轴承、磁触区的应力、应变及接触宽度，研究了接触应力、应变

轴承和气体轴承等诸多轴承润滑方法，局部解决了微的微尺度效应，结果表明：随着加载电压的增大，接触

电机和动力ＭＥＭＳ的动力润滑问题。微尺度下微型旋区应力、应变及接触宽度明显增大。不同电压作用下

转机械的轴承研究正成为微摩擦学中的一个新分支。接触区应力分布，如图１所示。

１微型干摩擦轴承

早期的ＭＥＭＳ旋转机械中，以转速低、运行时间短

的微电机或传动机构为主，所采用的轴承主要是干摩

擦轴承，依靠两接触件之间的相对摩擦运动。由于尺

寸非常小，一般的商业化轴承不再适用，因此需要运用

微加工技术来制造微轴承。

由于定转子之间接触表面上微凸体的不规则