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氧化铜薄膜的应用

氧化铜薄膜具有良好的透明导电性、压电性、光电性、气敏性、压敏性、易

于与多种半导体材料实现集成化。由于这些优异的性质，使其具有广泛的用途和

许多潜在的应用，如光电器件、声表面波器件、平面光波导、透明电极、透明导

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电膜、压电器件、气敏传感器和GaN的缓冲层等。

（1）氧化铜薄膜在光电器件方面的应用

氧化铜的直接带隙（3.37eV）以及较高的激子束缚能（60meV），使得它

理论上能够在室温下获得高效的紫外激子发光和激光。同时，通过与CdO、MgO

组成的合金薄膜能够得到可调的带隙（2.8-4.2eV），覆盖了从红光到紫外光的

光谱范围，有望开发出紫外、绿光、蓝光等多种发光器件。尤其是p-CuO的制

得，为氧化铜在紫外探测器、LED、LD等领域的应用开辟了道路。目前，已报

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道研制的ZnO光电器件有紫外探测器和发光二极管。

（2）氧化铜薄膜在声表面波器件方面的应用

氧化铜薄膜具有优良的压电性能、良好的高频特性、较高的机电耦合数和低介电

常数，是一种用于声表面波（SAW）的理想材料，而且随着数字传输和移动通信

信息传输量的增大，要求SAW超过1GHz的高频，因此，氧化铜压电薄膜在高

频滤波、谐振器、光波导等领域有着十分广阔的发展前景。SAW要求氧化铜薄膜

具有c轴择优取向，电阻率高，从而有高的声电转换效率；且要求晶粒细小，

表面平整，晶体缺陷少，以减少对SAW的散射，降低损耗。目前，日本村田公

司已在蓝宝石衬底上外延氧化铜薄膜制作出低损耗的1.5GHz的射频SAW滤

波器，目前正在研究开发2GHz的产品。

（3）氧化铜薄膜在太阳能电池方面的应用

氧化铜薄膜尤其是AlO（CuO：Al）膜，具有优异的透明导电性能，在可见光

波长范围内的透射率可达90%以上，可与ITO（In2O3：SnO2）膜相比。而且，

相对于ITO膜，AlO膜具有无毒，无污染，原料丰富，价格便宜，稳定性高（特

别是在氢等离子体中），正逐步成为ITO薄膜的替代材料，在显示器和太阳能等

领域得到应用。目前，氧化铜薄膜主要是作为透明电极和窗口材料用于太阳能电

池，而且氧化铜受到高能粒子辐射损伤较小，因此特别适合于太空中使用。

Croenen等利用扩散热等离子束技术制得氧化铜Al：薄膜（ρ＜10-3Ω·cm，T

＞80%），用于无定形非晶硅太阳能电池，其效率为7.7%。用氢等离子处理的氧

化铜：Ga薄膜作为太阳能电池的窗口材料，其效率可以达到13%[10]。

（4）氧化铜薄膜在气敏元件方面的应用

氧化铜系薄膜材料具有较好的气敏特性，当薄膜接触到不同成分和浓度的气体

时，其电阻率会随之发生变化。一般来说，当薄膜表面吸附有还原性气体时，由

于发生还原反应，薄膜电阻率会降低，气体浓度越高，电阻率越低；反之，当薄

膜表面吸附有氧化性气体时，则由于氧化作用，薄膜电阻率会随气体浓度的升高

而增大。根据这个特性，可以制造出各种气敏传感器。氧化铜是一种典型的表面

控制型气敏材料，通常其颗粒越小，比表面积越大，氧吸附量就越大，材料的气

体灵敏度就越高；此外，掺入贵金属或者涂覆贵金属催化涂层，能提高它的灵敏

性和选择性。Min等利用溅射方法制备的氧化铜薄膜对H、NO、CO有很好

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的敏感性，并且对NO在低温下有特别高的灵敏度；Al掺杂的氧化铜薄膜则能

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在400℃的温度下工作，对CO的灵敏度达到61.6%。

5.真空镀膜法制备氧化铜薄膜实验研究

5.1实验原理

如图5.1所示，铜片在坩埚上被

加热后以粒子状向四周飞溅，而位于

正上方的基底下侧就会有粒子在上

面形成团，随着粒子团越来越大，就

会在基底上形成一层薄膜。而粒子在

飞到基底的过程中，有的铜原子与氧

原子结合形成氧化铜，这样在基底上