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张亚萍，李启甲：掺铝氧化锌（Ａｚ０）导电薄膜的研究进展

文章编号：１００６－６２６８（２００６）０３—００５１—０４

掺铝氧化锌（ＡＺＯ）导电薄膜的

研究进展

张亚萍，李启甲

（陕西科技大学材料科学与工程学院，陕西咸阳７１２０８１Ｊ

摘要：综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况。重点讨论掺铝氧化锌

（Ａｚｏ）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出，为了进一步提高透明导电

薄膜的性能，应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发，以满足尖端技术的

需要。

关键词：透明导电膜；掺铝氧化锌薄薄；多层膜设计

中图分类号：ＴＮ１０４．３文献标识码：Ａ

ＲｅｃｅｎｔＲｅｓａｅｒｃｈ０ｎＡＺＯＣｏｎｄｕｃｔｉｎｇＦ．ｍｓ１

ＺＨＡＮＧＹａ－ｐｉｎｇ，ＬＩＱｉ－ｊｉａ

Ｓｃｈ（ｏｏｏｌｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｎＸｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ

ｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＳｈａｎＸｉＸｉａｎＹａｎｇ７１２０８１，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ，ｖａｒｉｅｔｉｅｓ，ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，ｒｅｃｅｎｔｒｅｓｅａｒｃｈａｄｖａｎｃｅｓｏｎ

ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔａｎｄｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｆ¨ｍｓａｎｄｔｈｅｉｒａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｉｎｖａｒｉｏｕｓｆｉｅｌｄｓａｒｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄ．

Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｅｌｅｃｔｒｉｃｍｅｃｈａｎｉｓｍ，ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｆｏｃｕｓｏｆＡＺＯｍ

ａｒｅｅｍｐｈａｓｉｚｅｄ．Ｔｈｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔａｎｄｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｍｓｓｈｏｕｌｄｂｅｍｐｒｉｏｖｅｄ

ｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈｏｐｔｉｍｉｚｅｄｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｒｅｓｅａｒｃｈｅｓｏｎｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓａｎｄｍｕｌｔｉｌａｇｅｒ

ｄｅｓｉｇｎｉｎｏｒｄｅｒｔｏｍｅｅｔｔｈｅｓｐｉｒｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．

Ｋｅｙｗｏｒｄ：ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔａｎｄｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｆ¨ｍ：ＡＺＯｍｓ：ｍｕｌｔｉｌａｇｅｒｄｅｓｉｇｎ

透明导电薄膜的种类很多。金属氧化物透明导（商品名）一ＳｎＯ：薄膜。２０世纪８０年代开始出现研

电膜的研究比较早，Ｂａｋｄｅｋｅｒ于１９０７年第一个报究ＺｎＯ基薄膜的热潮。１９８５年，ＴａｋｅａＯｊｉｏＳｉｚｏ

导了ＣｄＯ透明导电膜。１９５０年前后出现了硬度高、Ｍｉｙａｔａ首次用气相聚合方法合成了导电的

化学稳定的ＳｎＯ：基和综合光电性能优良的Ｉｎ：Ｏ。ＰＰＹ—ＰＶＡ复合膜，从而开创了导电高分子的光电领

基薄膜，并制造出有应用价值的透明导电膜ＮＥＳＡ域…。透明导电膜以接近金属的导电率、可见光范围

收稿日期：２００５—１２—０５Ｍａｒ２００６现代显示ＡｄｖａｎｃｅｄＤｉｓｐｌａｙ５１